中古 KOKUSAI DJ-853V-8BL #9010684 を販売中

KOKUSAI DJ-853V-8BLは拡散プロセスを製造または実行するために使用される拡散炉および付属品です。それはタイプの化学蒸着（CVD）の器械であり、1350°C。までの大きい温度較差があります。装置に速い暖房率があり、熱アニーリング、熱処理および酸化プロセスに使用することができます。853V-8BLには2つの水晶チューブがあり、それぞれにホットゾーンとクールゾーンがあり、より良い温度制御が可能です。さらに、この炉には、温度変化を数度まで検出できる超低温モニタリングシステムが内蔵されています。853V-8BLには、クォーツウェーハアダプタ、クォーツフロントとステンレススチールベースのチャンバー、円筒形セラミックサセプター、ガス配分マニホールドなど、幅広いオプションがあります。ガス分布マニホールドは、さまざまな拡散プロセスのための酸素、水素、窒素、二酸化炭素を制御するために使用することができます。クォーツウエハアダプタを使用してウエハーをサセプターに固定することができ、ステンレススチールベースを使用すると、ウエハーの取り扱いと搬送をサセプターとの間で行うことができます。853V-8BLにはマルチゾーンコントローラが含まれており、最大8つのゾーンを個別にプログラムすることができます。これにより、正確な温度制御が可能になり、最適化された拡散プロセスが可能になります。さらに、コントローラは直感的なユーザーインターフェイスと大きなディスプレイを備えています。この853V-8BLには、高温または高環境酸化レベルへの偶発的な暴露からユーザーを保護する安全機能も含まれています。酸素濃度センサー、温度センサー、湿度センサーなど、さまざまな安全センサーを備えています。アラームは、安全でない状態をユーザーに警告するためにも含まれています。853V-8BLは8インチの直径の8つまでのウエハの容量があり、1350°Cまで温度のさまざまな拡散プロセスに使用することができます。これは、最適化された拡散のための優れた温度制御を提供し、その組み込みの安全機能により、これは非常に安全な機器です。