中古 KOKUSAI DJ-853V-8BL #86153 を販売中

KOKUSAI DJ-853V-8BLは半導体および航空宇宙産業の大量生産のために設計されている拡散炉です。その高度で信頼性の高いエンジニアリングは、優れた熱均一性とプロセス安定性を提供し、お客様は最大のデバイス歩留まりと品質を達成することができます。大きなチャンバーと内蔵のバイパスにより、ユーザーは材料の効率を最大化しながら、エネルギーコストを削減し、スループットを向上させることができます。炉の可変的な空気制御装置はユーザーが装置性能を最大限に活用するためにプロセスパラメータを調節することを可能にします。KOKUSAIの酸化機能DJ853V-8BL、シリコン、タングステン、アルミニウム材料の処理を可能にし、最高レベルのデバイス性能をもたらします。温度とウエハ幅はそれぞれ100°C〜900°C、 12インチ（304mm）〜200mmです。さらに、高度なヒーター設計と均一性制御により、正確な温度制御と安定性を保証します。さらに、その動的圧力制御と真空排気設備は、優れたプロセス能力を提供します。アクセシビリティに関しDJ-853V-8BLは、プロセス制御および監視システムと、手動のリモートコントロールパネルが付属しており、ユーザーはパラメータを微調整できます。統合されたユーザーフレンドリーなインターフェースにより、炉は明確な操作指示と操作指示を提供します。炉の熱および排気システムは優秀なヒーターから成り、高度の自動水平になるウェーハの配置/取り外し装置および最低の熱損傷を保証する移動棒システムと結合されます。拡散炉のメンテナンスは、消耗部品を最小限に抑え、ブラシレスDCモータユニットを使用することで、継続的で信頼性の高い動作を提供します。DJ853V-8BLはCE規格に準拠しており、安全対策により動作中の最大限の安全性を確保しています。高度の水晶ガラスドアおよび連結機械はガスおよび液体の漏出を防ぐように設計されていました。また、基板の迅速な積み下ろしを可能にする自動カセットローダーツールを備えています。さらに、この資産は、保護と効率的な処理を追加するための深水晶チューブを備えています。KOKUSAI DJ-853V-8BLは、生産プロセスの効率的で信頼性の高いソリューションをお探しのお客様に最適な拡散炉です。高度なエンジニアリング、自動化された機能、安全対策により、ユーザーは品質プロセスと最適な歩留まりを達成できます。