中古 KOKUSAI DJ-853 #293805539 を販売中

KOKUSAI DJ-853拡散炉は、KOKUSAI Electric Corporationが製造した、広範囲の拡散プロセスの製造に適した6インチ正方形のチャンバーを備えた完全自動拡散炉です。装置は費用効率、効率および操作の容易さのために設計され、良質および信頼できる結果を提供します。背面から積載された高温グラファイトウェーハボートと、拡散プロセス中のウェーハを維持するグラファイトカプトンサポートモジュールを備えています。DJ-853拡散炉にはベルト駆動炉コンベアが装備されており、ウェーハを炉室に自動的に供給します。温度制御は、シリコンウェーハとグラファイトウェーハボートの両方に正確で安定した温度を提供する2つの熱電対、チャンバー内と外側の1を介して調整されます。さらに、二次酸化システムは、各プロセスに必要な酸化レベルを正確に提供します。このユニットは片側加熱機能を備えており、ウェーハの背面側に1。25インチ幅の単一のグラファイトヒーターブロックがあります。このヒーターブロックは取り外し可能で、アライメントの調整が可能で、加熱プロセス全体にわたって完全な均一性に達します。さらに、低圧（0。5 Torrまで）と高圧（15 Torrまで）の両方の動作が可能です。ウェーハ間の再現性を最大限に高めるために、プロセスガスは重力的に供給されます。モニタリングのために、KOKUSAI DJ-853ツールには高度なモニタリング資産があり、プロセスの進捗状況を表示するための12 インチLCDパネルが含まれています。さらに、リアルタイムプロセスデータトラッキングを提供する排気監視装置と、常に均一性を確保するためのウェーハチェックシステムを備えています。さらに、アンダーカットを防止し、ウェハレベルの最適化を確実にするために、熱伝導性モニタリングユニットを内蔵しています。要するに、DJ-853拡散炉は、高精度のシリコンウェーハ拡散プロセスのための完全に自動化された最先端の機械です。このツールには、高度な監視システム、高温グラファイトウェーハボート、正確なプロセスガス供給資産、および調整可能な片側加熱機能が含まれており、最高の品質と精度を保証するように設計されています。コスト効率と操作の容易さは、それが太陽光発電デバイスの生産の広い配列のための理想的なソリューションになります。