中古 KOKUSAI DJ-853 #155816 を販売中

KOKUSAI DJ-853は、敏感な半導体デバイス製造用途向けに設計された高性能拡散炉です。直径8インチまでのウェーハを受け入れることができ、-20°C〜1200°Cの便利な動作温度範囲を備えています。DJ-853は、ベルタイプの蓋で密封された不透明なアルミナライナーを備えた均一なプロセスチャンバーを備えています。アクティブな持ち上がる装置は一貫した動きを保障し、ヒーターは均一な暖房の電力配分を保証するために正確に置かれます。窒素および水素の飽和蒸気圧は、超低ピロゲン雰囲気を提供するために簡単に制御できます。ヒーターは手動プログラミングによって、またはプログラム可能な変数が付いている自動モードで作動させることができます。拡散機能に加えて、KOKUSAI DJ-853は、ユーザー保護を強化するためのいくつかの安全機能も備えています。ヒーターはベークライザーシステムで設計されており、小型のワット数の低いセラミック絶縁パネルを使用して排出を抑制し、ユーザーを高周波放射から保護します。大きくて耐久性のある水晶窓は、常にプロセスチャンバーを簡単に見ることができます。クランプとベル蓋は、堅牢な純粋なモリブデン材料から構成され、気密シールを確保するために高性能の温度検出回路を備えています。オンボード電源は、変動するライン電圧でも安定した加熱を保証する動的電流調整機能を備えています。DJ-853には、拡散機能をサポートする幅広いアクセサリーも付属しています。これらには、サンプルシフトを防止する耐振動ワークスタンドと治具が含まれます。最大3つの炉をサポートするカートマウントシステム。荷を下す前に急速な冷却を保障するオフラインの冷却装置；そして複数の炉の同時制御を可能にする多炉制御機械。また、ユーザープロセスを総合的に分析するための直感的な操作、データ分析、ツール診断を備えた強力なソフトウェアパッケージを誇る国際DJ-853。結論として、DJ-853は、要求の厳しい半導体デバイス製造アプリケーションに適した信頼性の高い熱処理ツールです。優れた拡散機能、優れた安全機能、およびユーザーの利便性を高めるための包括的なアクセサリを提供します。