中古 KOKUSAI DJ-835V #9309559 を販売中

KOKUSAI DJ-835Vは、製造および研究開発用途向けに設計された拡散炉です。この高性能システムは、業界をリードする多くの半導体デバイス生産者のニーズを満たすように設計されています。このユニットは、均一で精密な熱処理のための拡散炉やアクセサリーを含むさまざまなコンポーネントで構成されています。この拡散炉は、最高温度1200°Cと4ゾーンの温度制御設計を提供し、プロセス全体にわたって熱特性の正確な均一性を確保します。広い調整範囲には、高温熱拡散、高温アニーリング、および急速熱アニーリング（RTA）が含まれます。ユーザーは毎分50°Cから1000°Cへの異なった暖房率を選ぶことができます。その後、正確に制御された温度は± 2°Cの精度で維持されます。KOKUSAI DJ 835Vは、6,000〜5,000Wの大容量の暖房を搭載しています。異なった熱帯の大気制御システムは異なったタイプの装置製作プロセスのための制御環境を提供するために単位に組み込まれます。窒素、成形ガス、乾燥酸素、水素などがあります。冷却機は高効率の熱交換装置で製造時にウェーハを高速かつ信頼性の高い冷却を提供します。その他の工具部品には、高温、水冷電磁シールド、高温水冷排気システムがあります。また、加熱チャンバーに粒子や液滴、有機残留物が到達するのを防ぐ高効率ガス注入アセットを使用して、汚染を最小限に抑えるように設計されています。このモデルは、プロセス監視と制御の両方に高効率のデータ取得を提供します。これには、イーサネット通信インタフェースを含む制御機器が含まれます。ユーザーフレンドリーなGUIにより、ユーザーはプロセスパラメータを簡単かつ正確に監視できます。また、自動ウェーハアライメント機能を搭載した先進的なロボットディスペンスユニットと、正確なウェーハ配置を実現するノズル真空機を組み合わせています。DJ-835Vツールは、信頼性の高い熱処理を信頼性の高い均一な結果を提供するように設計されています。