中古 KOKUSAI DJ-835V #293774760 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
KOKUSAI DJ-835Vは、集積回路の製造における半導体材料の精密かつ効率的な処理のために設計された最先端の拡散炉です。高性能なウエハーは、高い均一性と制御性を備え、高性能拡散能力を必要とする半導体製造設備に最適なソリューションです。KOKUSAI DJ 835Vは、炉の建設をはじめ、高品質の材料と部品で構築され、耐久性と熱安定性を確保しています。炉の部屋は通常石英か炭化ケイ素から成り、高温および化学反応への優秀な抵抗を提供します。チャンバー内の加熱素子は、ウェーハ表面に均等に熱を分配するように慎重に設計されており、一貫した処理結果を保証します。DJ-835Vの主な特徴の1つは、高度な温度制御システムであり、拡散プロセス中に熱プロファイルを正確に調整することができます。このユニットには、ウェーハ全体の温度変化を監視および調整するための複数の加熱ゾーンと熱電対が装備されています。この制御レベルは、均一なドーパントプロファイルを実現し、処理されたウェーハ間の電気特性の変化を最小限に抑えるために不可欠です。温度制御に加えて、DJ 835Vは様々な拡散プロセスをサポートするために、さまざまなガス供給および混合オプションを提供しています。マシンは通常、正確なガス流量測定と制御のためにマスフローコントローラで構成されており、一貫した再現性のある処理条件を保証します。この炉には、ウエハ表面にドーパント種を制御し、正確な拡散プロファイルを容易にするガス分布ツールも装備されています。KOKUSAI DJ-835Vは、生産性とスループットを向上させるために、ウェハローディングとアンロードのプロセスを合理化する自動化機能を備えて設計されています。このアセットは、ロボットハンドリングシステムと組み合わせることで、炉内でシームレスにウェーハを転送することができ、サイクル時間を短縮し、運用効率を向上させることができます。さらに、炉には高度なソフトウェアコントロールが装備されており、ユーザーは特定のプロセス要件に応じて拡散レシピをプログラムして最適化できます。KOKUSAI DJ 835Vは、主な拡散炉を補完し、その機能性と汎用性を高めるためのアクセサリーやオプションの範囲も含まれています。高純度処理環境を維持するためのガス清浄機、チャンバーを避難させるための真空ポンプ、リアルタイムのプロセスデータ収集と分析のための監視システムなどがあります。急速な熱処理機能やウェハマッピングツールなどのオプション機能により、多様なアプリケーションニーズに対応するモデルの機能がさらに拡張されます。結論として、DJ-835V拡散炉は、卓越した性能、精度、および信頼性を提供する半導体製造のための最先端のツールです。革新的な設計、高度な温度制御、オートメーション機能により、高品質の集積回路を製造するための優れた拡散能力を求める半導体ファブにとって理想的なソリューションとなります。堅牢な構造、汎用性の高いアクセサリ、ユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェースを備えたDJ 835Vは、半導体業界における拡散炉の技術の新しい標準を確立しています。
まだレビューはありません