中古 KOKUSAI DJ-835V #293774752 を販売中
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ID: 293774752
ヴィンテージ: 1996
Vertical furnace
Gas box
Heater
Gas pipes
Accessories
1996 vintage.
KOKUSAI DJ-835V拡散炉は、シリコンウェーハの精密かつ均一なドーピングのための半導体製造に使用される最先端の熱処理装置です。この汎用性の高いツールには、ウェーハ処理ステップ全体で最適なパフォーマンスと効率を確保するために、さまざまな高度な機能とアクセサリが装備されています。KOKUSAI DJ 835V拡散炉の中核には、ウェハドーピングプロセスの反応チャンバーとして機能する高性能クォーツチューブがあります。水晶管は高温に耐えることができ、ウェーハ表面に均一な熱分布を保障する優秀な熱伝導性のために設計されています。この設計は温度の変化を最小限に抑え、一貫した再現性のあるドーピング結果を保証します。DJ-835Vはドーピングプロセスの間に精密な温度調整を可能にする最先端の暖房装置が装備されています。加熱ユニットは、高品質の抵抗発熱体と、ユーザーが高精度で温度プロファイルをプログラムし、監視することができる洗練された制御機で構成されています。この精密な温度制御は、希望するドーピングプロファイルを達成し、プロセスの変動を最小限に抑えるために不可欠です。ウェーハの積み降ろしを容易にするために、DJ 835V拡散炉には包括的なウェーハ処理ツールが装備されています。この資産には、処理中にウェーハを確実に保持するウェーハボートまたはキャリア、およびプロセスチャンバへの効率的なウェーハ転送のための自動ローディング機構が含まれます。ウェーハハンドリングモデルは、さまざまなウェーハサイズや種類との互換性を考慮して設計されており、ウェーハ処理アプリケーションの柔軟性と汎用性を確保しています。KOKUSAI DJ-835Vは、主な拡散炉ユニットに加えて、オプションのアクセサリーやアドオンを豊富に用意しています。これらのアクセサリには、プロセスチャンバーにドーパントガスを導入するためのガス供給システム、所望のプロセス雰囲気を作成するための真空ポンピングシステム、リアルタイムプロセスパラメータ測定および制御用の監視ツールが含まれます。これらのアクセサリを組み込むことで、ユーザーは特定のプロセス要件を満たすように拡散炉を調整し、さまざまなアプリケーションのパフォーマンスを最適化できます。KOKUSAI DJ 835V拡散炉は、操作やメンテナンス作業を効率化するために、使いやすい機能とインターフェースを備えて設計されています。この機器には直感的な制御ソフトウェアが装備されており、ユーザーはプロセスレシピを簡単にプログラムしたり、プロセスパラメータを監視したり、必要に応じて問題のトラブルシューティングを行うことができます。このシステムには、過熱保護、ガス漏れ検出、緊急停止メカニズムなど、運転中のオペレータや機器を保護するための安全機能も内蔵されています。全体として、DJ-835V拡散炉は、半導体ウェハドーピング用途のための高度で信頼性の高いツールです。堅牢な設計、正確な温度制御、汎用性の高いウェーハハンドリングユニット、およびオプションのアクセサリーにより、半導体製造の幅広い拡散プロセスに最適です。DJ 835Vは、研究開発や大量生産の環境で使用されるかどうかにかかわらず、一貫した高品質のドーピング結果を達成するための比類のない性能と効率を提供します。
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