中古 KOKUSAI DJ-835V #293773924 を販売中
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ID: 293773924
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
Vertical furnace, 8"
Deposition: Nitride / D-POLY
Gas box
Heater
Gas pipes
Accessories
1997 vintage.
KOKUSAI DJ-835Vは、半導体ウェーハの熱処理を精密に制御する先進的な拡散炉です。半導体産業向け熱処理ソリューションのリーディングプロバイダーであるKOKUSAI Semiconductor Equipment Corporationによって設計・製造されたKOKUSAI DJ 835Vは、最新の半導体製造設備の厳しい要件を満たすように設計されています。この最先端の炉は、酸化、アニール、ドーパント材料の拡散など、さまざまな拡散プロセスに最適なさまざまな機能と機能を備えています。DJ-835Vの中心には、ウェーハ表面に均一な温度分布を可能にする複数の加熱ゾーンで構成された高性能の加熱装置があります。これにより、一貫した信頼性の高い熱処理が保証され、材料特性とデバイス性能のばらつきを最小限に抑えます。また、精密な温度制御システムを搭載しており、精度と再現性を兼ね備えたプロセス温度の設定・維持が可能です。この制御レベルは、拡散プロセス中に必要な材料特性とデバイス特性を達成するために不可欠です。DJ 835Vは、高度な加熱および温度制御機能に加えて、バッチ処理用の複数のウェハに対応できる大容量のウェハボートを備えています。これにより、ユーザーはスループットと効率を高めることができ、大量生産環境に適しています。ウェーハボートは、ウェーハへの最適なガス流量と熱伝達を確保し、プロセスの均一性と歩留まりを最大化するように設計されています。さらに、この炉には、プロセスガスの流量と混合物を正確に制御する堅牢なガス分配ユニットが装備されており、プロセス制御と再現性がさらに向上します。KOKUSAI DJ-835Vには、安全運転を確保し、潜在的な危険からユーザーや機器を保護するために、複数のインターロックやアラームを含む包括的な安全マシンが装備されています。この炉は厳格な安全基準と規制を満たすように設計されており、労働者の安全と機器の信頼性を優先する半導体製造設備での使用に適しています。KOKUSAIは、高品質で信頼性の高い熱処理装置を提供する実績があり、KOKUSAI DJ 835Vも例外ではありません。拡散炉自体に加え、お客様のニーズに合わせたカスタマイズが可能なアクセサリーやオプションを取り揃えています。これらには、ガスフローコントローラ、圧力レギュレータ、およびプロセス監視および制御のためのソフトウェアツールが含まれます。同社はまた、お客様が機器を最大限に活用し、最適なプロセス結果を達成するための包括的なトレーニングとサポートサービスを提供しています。全体的DJ-835Vは、半導体ウェーハの精密かつ信頼性の高い熱処理のための高度な機能を提供する高性能拡散炉です。最先端の加熱ツール、温度制御機能、安全メカニズムを備えたDJ 835Vは、半導体製造設備のさまざまな拡散プロセスに適しています。KOKUSAIの品質とイノベーションへのこだわりは、KOKUSAI DJ-835Vの設計と性能に明らかであり、優れたプロセス制御と歩留まりの実現を目指す半導体メーカーにとって貴重なツールです。
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