中古 KOKUSAI DJ-835V-8BL #9095897 を販売中

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KOKUSAI DJ-835V-8BL
販売された
製造業者
KOKUSAI
モデル
DJ-835V-8BL
ID: 9095897
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1998
D-poly furnace, 8", 1998 vintage.
KOKUSAI DJ-835V-8BLは半導体材料の精密アニーリングおよびドーピングを提供するように設計されている拡散炉および付属品です。半導体の温度勾配や精密アニーリング、エピタキシャル蒸着、合金化、基板金属化などのドーピングプロセスに最適なさまざまな機能を備えています。DJ-835V-8BL拡散炉には、シングルシリンダースプリットチューブ炉が装備されています。チューブの上部と下部は、別々の処理実行に使用することができます。管に断熱材のための二重壁があり、内部は精密な温度調整のためのモリブデンヒーターそして熱電対が装備されています。管の上部はガス拡散によって密閉され、下部は材料へのアクセスと操作のために開放されています。KOKUSAI DJ-835V-8BL拡散炉は、半導体材料の加工をより簡単に、より信頼性の高いものにするために設計された幅広いアクセサリーを備えています。チューブ内部には、基板ウェーハを必要な正確な位置に取り付けるためのセラミックチャンバーが装備されています。チューブを汚染から確実にシールするための真空シーラーも付属しています。各装置には、純粋なアルゴンと窒素の大気を供給する不活性ガス注入システムも備えています。圧力プロファイル制御装置は、最適な処理条件のために大気の正確な制御を提供します。DJ-835V-8BL拡散炉は、温度と圧力設定の広い範囲を提供しています。温度プロファイルコントローラを使用して基板温度を500°Cから1000°Cに設定でき、温度を0。1°C単位で増減して精密な制御が可能です。このユニットの圧力制御には、0。1から5。5までのガス圧力設定があり、圧力プロファイル制御装置は温度と圧力の両方を最適な範囲で簡単に維持することができます。KOKUSAI DJ-835V-8BL拡散炉とアクセサリーは、半導体材料の加工に柔軟性と信頼性を提供します。その高度な機能は、精密アニーリング、ドーピングプロセス、および材料の合金化に最適です。あなたがプロの半導体企業であろうと大学の研究室であろうと、このマシンは高精度の結果を達成するのに役立つ完璧な機能の組み合わせを提供します。
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