中古 KOKUSAI DJ-825V-8L #9145517 を販売中

KOKUSAI DJ-825V-8L
製造業者
KOKUSAI
モデル
DJ-825V-8L
ID: 9145517
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1999
Vertical furnaces, 8" Load lock low pressure D-poly si system 1999 vintage.
KOKUSAI DJ-825V-8Lは、半導体・エレクトロニクスウエハ製造において熱処理に使用される先進的な拡散炉です。高温処理能力と高速拡散サイクルのための急速な温度サイクルの両方を提供します。このユニットには大きな石英処理室があり、電子部品の安全で効果的な処理を可能にします。DJ-825V-8Lは、4つのホットゾーン発熱体と8つの温度ゾーンを備えた強力で効率的な暖房システムを備えています。これらの各ゾーンは、高度なPID温度制御アルゴリズムを使用して個別に制御および検証されます。このセットアップにより、ウェーハ全体にわたって正確かつ均一な加熱が可能になります。ホットゾーン素子は絶縁石英管に囲まれており、熱損失を最小限に抑えます。水晶管によって、単位はまた1280°Cまで温度を達成することができます。また、マスフローバルブ、クライオダイナミクス、パーティション化されたウェハホルダーなど、幅広い家具および温度制御アクセサリーを提供しています。マスフローバルブは、ウェーハの流量と漏れ防止を完全に制御し、凍結力学的プロセスによって正確なサーマルサイクリングを可能にします。パーティション化されたウェーハホルダーは、さまざまな処理手順を互いに正確に分離し、1つのウェーハの汚染を防止するために使用されます。KOKUSAI DJ-825V-8Lは、お客様の加工ニーズに対して高い安全性と精度を提供します。このユニットは、過熱および電流検出を含む複数の安全プロトコルを使用して、ユニットの安全性能を確保しています。さらに、このマシンは、お客様のワークフローを最適化し、熱処理に必要な時間を短縮するように設計されています。DJ-825V-8Lは半導体および電子製作のための理想的な拡散炉です。それは速い拡散周期のための高温そして急速な温度の循環を提供します。ホットゾーン素子、マスフローバルブ、凍結力学を組み合わせているため、さまざまな熱処理アプリケーションに使用するのに十分な汎用性があります。最先端の安全プロトコルと処理時間を最適化したKOKUSAI DJ-825V-8Lは、あらゆる生産ニーズに対応した信頼性の高い効率的な拡散炉ツールです。
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