中古 KOKUSAI DJ-823V #9309383 を販売中
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ID: 9309383
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2002
Furnace, 8"
High Temperature Oxide (HTO)
2002 vintage.
KOKUSAI DJ-823Vは、拡散プロセス用に設計された各種アクセサリーを備えた先進的な拡散炉です。500〜1,800°C (932〜3,272°F)の広い温度範囲を実現できるマルチゾーン水平炉です。ヒーター実装、サセプター実装、または浮遊帯成長プロセスに最適で、多種多様な拡散タスクが可能です。温度制御は速く、正確で、精密な制御および優秀な再現性を可能にします。DJ-823Vは、高度なワイヤーロープドライブシステムとダブルスリーブベローズを備えており、高温・高圧での動作でも、動作を損なうことなく幅広い作業範囲を可能にします。また、過熱保護、過圧保護、ガス漏れ防止システムなどの安全保護機能も備えています。KOKUSAI DJ-823Vには、エンドビューア、真空焼入装置、チャック/Pt-Agヒーター、熱伝導率計など、オプションのアクセサリーがあります。エンドビューアは、成長プロセス全体をオンラインで観察することができます。これは、インライン品質管理に特に役立ちます。真空焼入れ装置は、高温から室温への迅速な移行を可能にします。チャック/Pt-Agヒーターは、温度勾配を採用しても均一な加熱・温度プロファイルを実現できる花びら型ヒーターです。炉はまた、高度なファジーロジック温度制御ソフトウェアを備えています。これにより、正確な温度制御と設定が可能になり、ユーザーフレンドリーな操作も可能です。さらに、DJ-823Vにはデュアルヒートゾーンが装備されています。最大2つのヒートゾーンを同時に制御することが可能で、加熱と冷却を異なる速度で簡単に切り替えることができます。これらの特長が組み合わされ、国際DJ-823Vは強力で信頼性の高い拡散炉となっています。基板加熱、酸化、拡散、アニール、脱ガスなどの用途に最適です。高度な安全システム、高速応答時間、ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、拡散炉の技術のためのゴールドスタンダードを設定します。
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