中古 KOKUSAI DJ-823V-8BL #9028267 を販売中

KOKUSAI DJ-823V-8BLは、半導体ウェーハ上の集積回路の製造に使用するために設計された拡散炉および付属機器です。マルチゾーンクォーツチューブ付きヒーター、内部コンベアシステム、熱制御ユニット、エンドエフェクター機で構成されています。ヒーターは、基板を所望の温度に均一に加熱するように設計されており、高温に迅速に加熱することができます。フレームでサポートされ、真空ツールを使用してウェーハ全体に均一なホウ素またはリン拡散を保証します。マルチゾーン水晶チューブは効率的な熱伝達を保証し、各ゾーンで均一な温度を維持します。クオーツチューブはまた、運転中に炉に導入されるプロセスガスの損失を最小限に抑えます。内部コンベアアセットは、エッチングと冷却のためのゾーン間でウェーハを移動するために使用されます。エンドエフェクターは、ウェハが適切に所望の位置に配置され、確実に所定の位置に保持されることを保証します。熱制御モデルは、基板温度が許容範囲内で監視および維持され、成功した再現可能な拡散プロセスを保証します。また、処理される材料の適切な堆積とエッチングを確実にするための石英圧力チャンバーも含まれています。DJ-823V-8BLはクリーンな環境で動作するように設計されており、拡散処理の前にwAFERがきれいであることを保証するためにクリーニング装置が装備されています。それはまた塵および他の汚染物から保護する保護外の包装を含んでいます。KOKUSAI DJ-823V-8BLは、複雑な集積回路デバイスの製造に使用するために設計されています。熱制御システムは、拡散処理中の基板の均一な加熱と材料の効率的な使用を保証します。エンドエフェクタユニットはウェハをしっかりと固定し、エッチングや冷却時に必要に応じて内部コンベア機がゾーン間を移動します。クリーニングツールは、拡散前にウェーハがきれいであることを保証し、保護外装は、ほこりや他の汚染物質に対する追加の保護を提供します。DJ-823V-8BLは信頼性の高い拡散炉であり、付随するアクセサリ資産であり、幅広い半導体製造アプリケーションに最適です。