中古 KOKUSAI DJ-815V #179734 を販売中

KOKUSAI DJ-815Vは、ウェハスケールの電子デバイス前処理製造のための高温拡散炉およびアクセサリーです。酸化、拡散、ドライブインなど、幅広い前処理ステップに適しています。この炉は一度に最大8個のウェーハを搭載し、プロセス全体に均一な温度分布を提供することができます。これは、処理中に約1500°Cまで温度を維持することができる大きなチャンバーを提供しています。プロセスチャンバー内の大気圧は、大気圧から0.93MPまでの強化圧力までさまざまです。DJ-815Vは、脱ガス、ガスマニホールド、ガスミキサー、特定のユーザーの要件に合わせてカスタム製造されたアクセサリー、プラズマベースの絶縁プロセスをサポートするための小さなRFジェネレータなど、さまざまなアクセサリと統合することができます。それは高温正確さおよび均等性を保障するために強い、強制対流のメカニズムおよび有効な発熱体が装備されています。また、ガスパネルを一体化した設計となっており、効率的な安全システムと温度保護装置を備えています。KOKUSAI DJ-815Vの寸法は480mm（幅）×575mm（奥行き）×1150mm（高さ）で、チャンバー寸法は350mm（幅）×450mm（奥行き）×750mm（高さ）です。それは低い漏出力の1.2kWを作り出すことができ、働く部屋全体の温度配分は3つの独立して制御可能な発熱体によって促進されます。さらに、マルチセグメントのサーマルサイクルプログラムを搭載しており、ユーザーはプリプロセッシングバッチのさまざまなステップで異なる温度とドウェルタイムを設定できます。DJ-815Vは、複数の機能と安全なプロセス制御を備えた高温拡散炉を必要とするチップメーカーや関連企業に理想的な、信頼性の高い汎用性と効率的な拡散炉です。堅牢な構造と包括的な機能により、多数のデバイスの複雑な統合と前処理を含むあらゆるプロセスに最適です。