中古 KOKUSAI DJ-813V #293820985 を販売中
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ID: 293820985
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1994
Furnace, 8"
Valve Box
Pump Box
Power supply box
Pump Control Panel
Heater
Exhaust system 3
Exhaust system 4
(5) Boxes
Cooling water piping system
Gas piping system
Cable duct A
Cable duct B
Table / control panel section
Anti‑vibration metal fittings
AC200V UPS
Missing parts:
Cassette loader parts
BOX APC Valve controller
DN‑130 Power supply box
DP
1994 vintage.
KOKUSAI DJ-813Vは、最近開発された拡散炉およびアクセサリーです。この高温拡散炉は、ガラス、セラミックス、金属など様々な薄膜で幅広い基板をコーティングするだけでなく、超伝導薄膜を堆積させるために特別に設計されています。DJ-813Vは、-30°Cから1100°Cまでの温度で動作する超高真空チャンバー設計です。それに信頼できる、一貫した結果を提供するように設計されている温度調節器が付いている1300度の勾配の暖房範囲があります。このチャンバーには高効率のPCIセルフロック脱気装置、高精度制御システム、総圧力調整ユニットが装備されています。この拡散炉は、0。1 Paから1 Paまでの非常に低い圧力に達することができるデュアルステージターボポンプ機を備えています。これにより、高品質の蒸着プロセスを可能にします。また、高度な温度制御ツールを備えており、必要な温度まで素早く上昇させることができます。このアセットは、基板の温度の不均一性を最小限に抑えるのにも役立ちます。また、クォーツボート、サンプルケーキ、グラファイトフィラメントなどのアクセサリーも豊富に取り揃えており、どのような実験にも対応できるように設計されているDJ-813Vです。クォーツボートはあらゆる種類のサンプルをサポートするように設計されていますが、チャンバーの底にあるサンプルケーキは、チャンバーの暖房効率を高めるように設計されています。グラファイトフィラメントは、蒸着膜の蒸着材料に使用されます。DJ-813Vは、スムーズで正確なプロセスを確保するのに役立つ特許取得済みのガス抑制装置であるガス吸収モデルを備えています。また、精密な圧力と温度測定用のコンピュータ制御LF3000KUF反射モニター、正確な圧力設定用の精密ゲージも含まれています。さらに、この拡散炉は高度な電源システムを備え、過熱制御、過電圧保護、圧力制御ユニットなどの安全機能を備えています。KOKUSAI DJ-813Vは2年間保証され、品質と耐久性をお客様に保証します。結論として、DJ-813Vは最先端の拡散炉とアクセサリーです。この先進的な機械は、堆積プロセスを最適化するために設計されたさまざまな追加機能を提供しながら、信頼性と一貫した結果を提供するように設計されています。KOKUSAI DJ-813Vは、薄膜の正確な加熱と正確な堆積を必要とする実験室の実験に最適です。
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