中古 KOKUSAI DJ-813V #293652777 を販売中

KOKUSAI DJ-813Vは、半導体、太陽電池などの最先端の技術ニーズに応えるために設計された拡散炉およびアクセサリーです。このシングルウェーハ、低温プロセスは、業界のリーダーと同等の品質で、従来のシステムよりも最大3倍の成長率を提供します。この炉には高度なプロセス制御が装備されており、正確で再現性の高い結果が得られます。これはモジュラー設計を提供し、ユーザーに最大4つのゾーンの4つのステージまで自分のレシピをファイルする柔軟性を与えます。DJ-813Vは、空冷チャックに設置された2つの自己調整炉の要素によって加熱される水晶管を備えており、1350°Cまでの高速で均一な加熱プロセスを可能にします。拡散温度を正確に制御することができ、絶妙に正確な温度プロファイルが得られます。ガス分配装置は、均一なガスの流れと反応剤の分布を可能にします。炉を清潔で効率的に保つために、複数の4インチウェーハを運ぶことができるグラファイトボートは手動でロードおよびアンロードすることができます。また、クオーツチューブドアにはオプションの近接センサーが設置されており、ウェハが高温に近づきすぎるのを防ぎます。内部チャンバーには、温度オーバーランの場合に自動的にユニットをシャットダウンするアラームシステムも装備されています。安全性を高めるために、この高性能拡散炉には、変更された堅牢な石英管の構造と、チャンバー間の温度変化を最小限に抑えるPID制御が取り付けられています。KOKUSAI DJ-813Vには、EtherNet/IP、 ModBus、 USBなど、さまざまなインターフェイスや通信ポートがあり、リモートプログラミングやデータ記録のためのシステムにアクセスできます。タッチスクリーンのコントローラーは機械を動かし、調理法を入力することを容易にします。このセットアップにより、ユーザーはパフォーマンスを犠牲にすることなく、どこにいても安全に炉にアクセスして制御することができます。