中古 KOKUSAI DJ-813 #141295 を販売中

KOKUSAI DJ-813は、金属蒸着や誘電エッチングなどのウェハ加工用途向けに設計された拡散炉およびアクセサリーです。この炉は、加熱および非加熱のウェーハ処理、水平ホットウォールスタイルの機能、および最大2つのプロセスシーケンスで、複数のプロセスの組み合わせが可能です。DJ-813には、拡散加熱および冷却用の13インチクォーツチューブが装備されています。この管は最小限の変化の温度の均等性を達成するように設計されています。フレーム、温度帯、パワーゾーン構造も温度を均一に保つのに役立ち、低温処理に最適です。隣接するウェーハハンドラは調整可能で、一度に最大4つのウェーハを保持することができます。KOKUSAI DJ-813は、金属蒸着と誘電エッチングの両方に使用できます。コントローラソフトウェアは、シーケンス全体にわたってプロセス条件を最適化するように設計されています。付属のアナログまたはデジタルPIDコントローラで高精度な温度制御を実現します。この電源は複数の出力を備えており、高周波IGBTジェネレータを備えているため、バックグラウンドノイズが少なく、より高いプロセス温度に達することができます。この炉には、プログラム可能なタイマー、ゲートミキサー、および複数のウェーハ蓋も含まれています。ふたはプロセス化学薬品のためのガス堅いシールを提供し、交差汚染を防ぎます。ゲートミキサーは精密な化学混合を可能にし、汚染の危険性を減らします。タイマーは複数の自動開始および自動停止操作のためにプログラムすることができ、手動介入の必要性を減らします。全体的DJ-813は高性能な拡散炉とアクセサリースイートで、低温処理と複数のプロセスの組み合わせが可能です。ウェーハ処理アプリケーションに最適なソリューションであり、迅速かつ正確な温度制御、均一性、およびウェーハ処理を提供します。