中古 KOKUSAI DJ-805 #9068941 を販売中

KOKUSAI DJ-805
製造業者
KOKUSAI
モデル
DJ-805
ID: 9068941
ウェーハサイズ: 6"
Furnaces, 6".
KOKUSAI DJ-805は、半導体デバイスの性能を最大限に引き出すために使用できる拡散炉およびアクセサリーです。その高度な熱処理技術は、サーマルアニーリング、層間酸化、ドーパント活性化など、さまざまなデバイスプロセスに最適です。同じ炉で複数の処理を行うためのよりシンプルな技術と操作制御、さらに高いレベルの信頼性とプロセスの再現性をユーザーに提供します。DJ-805は高度のガス流れの混合物管理システムとの優秀なプロセス均等性を提供します。このシステムは、内部チャンバー全体に均一なガス流量を作成し、一定の処理時間のためにウェーハ上の設定温度分布を維持します。また、ヘリウムフローによる線抵抗、表面歪み、その他の誤差を低減します。KOKUSAI DJ-805は、最高温度と炉容量を実現し、機械的操作範囲が広い大容量を有しています。最大10個のウェーハを処理できます。その高度なチャンバー設計はまた、排出量を削減し、窒化プロセスを最適化するのに役立ちます。また、温度均一性を維持するための高性能ヒートサイクルポンプも備えています。温度勾配の精密な補償により、ウェーハ温度を効率的に安定させます。それはまた炉の部屋の大気を維持するのを助けます。この装置は最高限界の温度が維持されることを保障する高性能、高度の熱交換器および温度警報システムと来ます。また、非常停止スイッチと便利な大型液晶ディスプレイを備えています。各装置がよく点検され、テストされるので、DJ-805に最高品質管理があります。このデバイスは3段階のプロセスを経て、信頼性の高いパフォーマンスと効率的な動作を保証するために各ステップがチェックされます。KOKUSAI DJ-805は、半導体デバイスの信頼性の高いプロセス結果を必要とするユーザーに最適です。この装置は高められたプロセス均等性、均一なガスの流れ、温度の安定性、高温範囲および高品質および性能を保障する有効な操作を提供します。操作も簡単で、専門家や研究室に最適です。
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