中古 KOKUSAI DJ-803V-H #9248594 を販売中

KOKUSAI DJ-803V-H
製造業者
KOKUSAI
モデル
DJ-803V-H
ID: 9248594
ウェーハサイズ: 8"
Vertical diffusion furnace, 8" Process: LP-SiN.
KOKUSAI DJ-803V-Hは、高精度の積層材料を製造するために使用される拡散炉およびアクセサリーです。この拡散炉は、優れた熱均一性、生産能力の向上、信頼性の向上など、多くの利点を提供します。DJ-803V-Hの高性能は、独自の機能によって実現されています。このモデルには、幅広い負極電圧で安定化されたプラズマ強度を提供する強化されたRFパワーセクションが含まれています。これにより、拡散プロセス中の精度が向上します。さらに、温度制御システムは、処理チャンバ内の均一な温度を維持するのに役立つアップ/ダウン率を向上させます。内蔵のガス攪拌機能は、クリーンで均一な結果を保証するのにも役立ちます。この機能は、ガスの流れの中で交互に高圧と低圧のパルスを使用することによって達成され、処理領域で原子のより効果的な混合を可能にします。KOKUSAI DJ-803V-Hには、高度な安全機能も多数搭載されています。これには圧力監視システムと安全遮断バルブが含まれ、チャンバー内の過剰加圧から保護するように設計されています。さらに、炉には非常停止および非常冷却機能が装備されており、熱関連の問題による事故や誤動作を防ぐのに役立ちます。DJ-803V-Hはまたユーザーが同じ部屋の異なったタイプの材料を処理することを可能にする多目的なオーブンのドアの設計を含んでいます。これにより、処理時間を短縮し、生産効率を向上させることができます。KOKUSAI DJ-803V-Hは、全般的に高度で信頼性の高い拡散炉であり、拡散プロセスに優れた性能を提供します。このモデルは、効率的な熱均一性、生産性の向上、信頼性の向上、高度な安全機能により、さまざまな材料を処理する必要がある人に最適です。
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