中古 KOKUSAI DJ-802V #9094687 を販売中

KOKUSAI DJ-802Vは、半導体・半導体部品の製造に関わる様々な作業に使用できる拡散炉・アクセサリーです。KOKUSAI DJ 802 Vは、高品質のドーピング、アニール、酸化プロセスを実行することができます。DJ-802Vは完全に自己完結型のユニットで、真空チャンバー、チャンバーヒーター、ガス供給システムが含まれています。DJ 802 Vは、最大1100°Cの温度が可能なプロセスチャンバーをユーザーに提供します。プロセス部屋はクロムによってめっきされる長方形のステンレス鋼の組み立てられ、モリブデンのdisilicideの発熱体と絶縁されます。プロセス部屋の優秀な断熱材は速い温度の傾斜および堅い温度調整を保障します。KOKUSAI DJ-802Vには、窒素と異なる前駆体を受け入れることができる高度なガス供給システムも搭載されています。磁気浮上カップリング付きの高真空ポンプシステムをユニット内に設置し、プロセスに必要な真空レベルを提供します。低圧PECVDプロセスにはオプションのRFジェネレータが用意されています。プロセスチャンバーには、サンプル導入と観察のための2つの石英トップロードポートと、大型ウェーハとサンプルをロードするための2つの基板ホルダーホルダーがあります。プロセスチャンバーは、厚さ4mmまでの最大200 x 300mmウェーハを保持できます。コントローラとソフトウェアパッケージにより、ユーザーはユニットと対話し、炉のすべての側面を制御することができます。すべてのプロセスパラメータは、ユーザーインターフェイスからリモートで調整できます。ユニットには、偶発的な破損や損傷を防ぐために、いくつかの安全機能が装備されています。KOKUSAI DJ 802 Vのすべてのコンポーネントは、厳しい安全基準を満たすためにテストされ、認定されています。DJ-802Vは、半導体生産に関連する多くのタスクに適した信頼性の高い堅牢な拡散炉です。高温機能、高度な安全機能、ソフトウェア駆動コントローラを備えたDJ 802 Vは、汎用性の高い拡散炉とアクセサリーセットとして際立っています。