中古 KOKUSAI DJ-802 #9144938 を販売中

KOKUSAI DJ-802
製造業者
KOKUSAI
モデル
DJ-802
ID: 9144938
ウェーハサイズ: 6"
LP-CVD Furnaces, 6"
KOKUSAI DJ-802は、大量生産のための効率的で信頼性の高い拡散プロセスを提供するプロの拡散炉装置です。このシステムには、高精度の基板を迅速かつ正確に加熱および冷却できる炉、エアコントローラ、パワーコントローラ、およびその他のアクセサリーが含まれています。拡散炉はエピタキシャルおよび低拡散成長プロセスのための高度で信頼性の高いツールです。それに1800°Cまでの温度較差があり、特定のパターン化および処理の適用に適するさまざまなエナメルおよび陶磁器の発熱体が装備することができます。DJ-802の構造には、上炉本体、下炉本体、蓋、底蓋があります。炉本体には2層があり、炉の熱拡散と安定性を改善しながら、不要な熱破壊を防ぎます。また、温度制御と安定化のための冷却ユニットを備えています。空気調節器はユーザーが空気流れの暖房力そして圧力を正確に制御することを可能にします。これにより、均一な温度分布と優れた電力節約が保証されます。機械にまた暖房または冷却プロセスの間に流れを調整する力コントローラーがあります。このツールは、バッチ処理とインラインプロセスの両方で使用するために設計されており、迅速な再ツーリングを可能にします。また、+/-1%以内の絶対温度精度を提供する高精度のプログラマブルコントローラを備えています。また、シャットオフ機能、過熱保護機能、過圧時のオートシャットダウン機能など、多くの安全機能を備えています。KOKUSAI DJ-802は、精度、均一性、大量生産性を提供するため、基板加工に最適なツールです。酸化物系材料の拡散、エピタキシャル蒸着、急速再結晶化に適しています。このアセットは、シリコン、GDS、ポリシリコンなどの幅広い基板にも対応しており、さまざまな生産アプリケーションに適しています。全体として、DJ-802拡散炉モデルは、大量拡散プロセスのための効率的で信頼性の高いツールです。これは、正確な温度制御だけでなく、オペレータとプロセスの安全性を確保する安全機能の範囲を提供しています。この装置はいろいろな生産の適用および材料のために適しています、それを企業の範囲のための理想的な選択にします。
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