中古 KOKUSAI DJ-1223VN #293763020 を販売中
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ID: 293763020
ウェーハサイズ: 12"
Diffusion furnaces, 12"
Process: SI3N4
Main controller: CX3010 / CX3010B
Power supply: 208 V, Single phase / 440 V, 3 Phase.
KOKUSAI DJ-1223VNは、再結晶化、エピタキシー、気孔性シーリングおよびドーパント活性化に最も一般的に使用される拡散炉です。これは、エレクトロニクス処理に関連するさまざまな種類のアプリケーションに対処するための効率と精度を超える能力を持つ高度なタイプの機器です。DJ-1223VNには、蒸着チャンバ、ガス拡散ポンプ、基板冷却装置などの信頼性の高い部品セットが付属しており、拡散プロセスに信頼性の高いプラットフォームを提供します。蒸着チャンバは高品位材料を使用して設計されており、熱処理にも必要な高熱レベルに耐えることができます。これにより、さまざまなプロセス段階で必要な時間を短縮することができ、アプリケーション固有の拡散実行に十分な時間を割くことができます。KOKUSAI DJ-1223VNのガス拡散ポンプには、ロータリーベーン型やルーツタイプの送風機、サイドチャネルブロワー、教育者向けガス供給システムなど、さまざまな部品があります。これらは、拡散プロセス全体を実行するために必要な高精度、高精度、および熱循環をユーザーに提供します。DJ-1223VNの基板冷却ユニットには、妥協のない冷却性能を確保するための効率的な強制冷却ファンマシンが装備されています。さらに、2つの独立したチャンバー冷却システムを使用することで、熱勾配を最小限に抑え、基板の広い領域での均一性を最大限に高めます。この他にも、サセプター、治具、平面型電極、避難装置、射出装置、内部冷却ジャケット、制御システムなど、様々なアクセサリーを取り揃えています。また、当社のDJ-1223VNには様々なアクセサリーが付属しています。これらのすべてのコンポーネントは、比類のないパフォーマンスと拡散プロセスの柔軟性をユーザーに提供します。ケーキへのアイシングとして、DJ-1223VNの制御ツールはユーザーフレンドリーであり、タッチスクリーン資産を介して便利に操作することができます。KOKUSAI DJ-1223VNは全体的に信頼性が高く、効率的な拡散炉とアクセサリーです。コンポーネントやアクセサリを多数搭載しており、アプリケーション固有の困難な拡散動作に必要な比類のない精度、柔軟性、および熱循環をユーザーに提供します。
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