中古 KOKUSAI DJ-1223VN-DF #293753955 を販売中

KOKUSAI DJ-1223VN-DF拡散炉は、拡散、酸化、アニーリング、RTPなど、さまざまなウエハ関連プロセスに対応するために不可欠なツールです。最大1223Cの加熱機能と300mm x 300mmの加熱ゾーンを備えたこの機器は、大型パッドウェーハ加熱で効率的であり、ダイボンダーなどの小型ウェーハ用途にも適しています。高精度のパワーと温度制御システムを備えています。自動温度制御システムを備えた急速熱処理（RTP）を利用して、チャンバーのすべての処理領域で均一な加熱を保証します。この精度は、チャンバー全体にガス濃度を提供するために使用される精密ガス流量制御によって一致しています。さらに、炉のエネルギーを効率的にし、放射損失を防ぐ絶縁内部チャンバーと石英窓があります。追加のアクセサリーには、石英チューブ、ガス供給システム、PC制御モジュールが含まれます。石英チューブは、炉内の放射熱成分を低減し、室内の温度均一性を確保します。このガス供給システムは、様々な純度ガスを供給し、再現性を向上させたDJ-1223VN-DFで成功したプロセスを実行します。最後に、PC制御モジュールには、炉内で行われるさまざまなプロセスを駆動、監視、制御するソフトウェアパッケージが含まれています。KOKUSAI DJ-1223VN-DFは、あらゆるウェハプロセスアプリケーションにおいて最大限の性能と信頼性を提供します。直感的なユーザーインターフェイスを持ち、温度と電力制御の精度が高く、チャンバー全体で均一な加熱を保証します。付加的な付属品は精密なガスの流れ制御を保証し、エネルギー効率を提供することによってさらに機能を高めます。全体として、DJ-1223VN-DFは成功した信頼性の高いウェーハ拡散炉です。