中古 KOKUSAI DD-853V-8BL #9021601 を販売中

KOKUSAI DD-853V-8BLは均質な拡散と中断のない生産を提供するように設計された拡散炉および付属品のパッケージです。このパッケージは、構造CVD/PECVDプロセスチャンバー、石英ボート、オプションのエレベーターシステム、および最適な機器性能のための他のさまざまなアクセサリを備えています。このプロセスチャンバーは、他の拡散チャンバ設計と比較して高速な処理が可能で、生産効率が向上します。KOKUSAI DD853V-8BL拡散炉は、8インチ×8インチのチャンバーサイズで、高純度で高収率の均質なフィルムを製造するために設計されており、大規模な研究や商業作業に最適です。このパッケージは、シリコン、シリコンベースのデバイス、およびcuprateベースの化合物などのさまざまな材料を処理するために使用できる最大3つの石英ボートを収容できます。マルチスライドとオープンバック設計により、プロセスチャンバーは材料の簡単かつ効率的な積み下ろしと統一チャンバー操作を可能にします。このパッケージにはオプションの高度システムも用意されており、拡散室内での石英ボートの効率的なサイクリングが可能です。この自動エレベーターユニットは、信頼性の高い安全な操作、正確な位置決め、および熱均一性の向上を提供するように設計されています。DD853V 8BLには、スパッタ電源、電極RFバイアス電源、ブースターポンプ、不活性ガスレギュレータ、ガスマスフローコントローラなど、さまざまな拡散炉アクセサリーも含まれています。KOKUSAI DD853V 8BL拡散炉パッケージのすべてのコンポーネントは、信頼性と効率的な性能のために設計されています。チャンバーは、低熱質量のQuartzCote保護とマルチスライドデザインで構築され、優れた熱均一性を確保し、クォーツボートとエレベーター機は、利便性、安定性の向上、スペースの効率的な使用を追加します。このパッケージは、安全性と利便性を念頭に設計されており、使いやすさと効率性を最大限に高めるために、プログラム可能な設定と生産の正確性と均一な結果を保証する汎用性の高い制御システムで自動化されています。