中古 KOKUSAI DD-853V #9133268 を販売中
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ID: 9133268
ヴィンテージ: 1997
Vertical diffusion furnace,
Process gas: N2,H2
Temp controller: CQ1600
IO port type: 26 slot flat zone
1997 vintage.
KOKUSAI DD-853Vは、最も厳しい用途のために設計された高級な拡散炉とアクセサリーです。このユニットは、拡散または蒸着プロセス中に高温を制御する必要がある場合に半導体業界で使用するために設計されています。1300°C (2372°F)までの温度処理が可能で、熱均一性に優れ、± 3°C (5°F)までのプロセス温度を維持することができます。サイズは、長さ28インチ(710 mm)、 IDは6インチ(150 mm)、サイズは21インチ(530 mm)、 IDは4インチ(100 mm)です。KOKUSAI DD 853Vは、効率性と信頼性のための豊富な機能を提供します。それに耐久性および気密の完全性を提供している間汚染を避ける超純粋な水晶はさみ金が付いている良質の水晶管があります。高度な電源装置は、広範囲の電圧と電流設定を提供し、熱を正確に制御して一貫した結果を得ることができます。コントローラは、電源設定への迅速なアクセスだけでなく、タイミング、プロセスモード、最大9つのレシピのストレージへのアクセスを提供します。DD-853Vは豊富な安全機能を備えています。これには、危険な状態が発生するのを防ぐための過熱保護機能とインターロック機能の両方が含まれます。炉の内部は水晶管へのアクセスのために引き込むことができる暖房地帯ときれいになり、維持すること容易です。堅牢なシェルは電子部品を損傷から保護し、酸素を含まない加熱スペースは拡散室の酸化を防ぎます。DD 853Vは、半導体加工アプリケーションで使用される優れた拡散炉およびアクセサリです。高温に対処し、優れた熱均一性を維持する能力により、優れた品質と信頼性の高い性能を提供します。その広範囲の電圧および電流設定は、加熱プロセスを正確に制御し、包括的な安全機能により効率的で信頼性の高い動作を保証します。半導体製造に使用されている施設は、KOKUSAI DD-853V拡散炉の恩恵を受けることができます。
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