中古 KOKUSAI DD-835V #293774755 を販売中
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ID: 293774755
ヴィンテージ: 1996
Vertical furnace
Gas box
Heater
Gas pipes
Accessories
1996 vintage.
KOKUSAI DD-835Vは、半導体業界の厳しい要求を満たすように設計された最先端の垂直拡散炉です。この先進的な炉は、精密工学と革新的な技術を組み合わせて、半導体製造におけるウェーハの処理に優れた性能と信頼性を提供します。DD-835Vは、高品質で業界で比類のない性能で知られている、垂直拡散炉のKOKUSAI有名なラインの一部です。KOKUSAI DD-835Vは、ウェーハ表面における効率的な熱伝達と均一な温度分布を可能にする垂直水晶チューブ設計を特徴としています。この設計は、ウェーハの反りを最小限に抑え、一貫した成膜を保証し、半導体製造で高品質な結果を得るために不可欠です。チューブの垂直方向はワークスペースの使用を最適化し、複数のウェーハを同時に効率的に処理できるため、炉のスループットが向上します。DD-835Vの重要なポイントの1つは、高性能の水晶赤外線ランプを使用して正確な温度制御と急速なランプアップとクールダウン速度を提供する高度な加熱装置です。これにより、迅速なサイクルタイムと効率的なウェーハ処理が可能になり、生産性が向上し、プロセスの再現性が向上します。暖房システムは十分にプログラム可能で、さまざまな熱処理の条件を収容するために温度設定の広い範囲を提供します。国際DD-835Vは、優れた加熱能力に加えて、炉の中のプロセス雰囲気を正確かつ安定して制御する高度なガス供給ユニットを備えています。この機械は、精密マスフローコントローラとガス混合機能を備えており、ウェーハ表面のドーピングと酸化を制御するために不可欠な、正確なガス比と流量を達成します。このレベルの制御により、炉は、酸化、拡散、アニーリングなどの幅広い熱処理を、優れた再現性と均一性で行うことができます。DD-835Vには、ウェーハの積み降ろしを容易にする洗練されたウェーハハンドリングツールが組み込まれており、処理中の汚染や損傷のリスクを最小限に抑えています。このアセットは、さまざまなウェハサイズと厚さに対応できるため、さまざまな半導体アプリケーションに汎用性があります。さらに、炉にはインターロックやアラームなどの高度な安全機能が装備されており、オペレータの保護を確保し、運転中の事故を防ぎます。さらに、KOKUSAI DD-835Vは、炉の運転に直感的な制御と監視機能を提供するユーザーフレンドリーなインターフェースによってサポートされています。このインターフェースにより、オペレータはプロセスレシピを簡単にプログラムおよび最適化し、リアルタイムでモデルパラメータを監視し、診断情報にアクセスしてトラブルシューティングを行うことができます。このレベルの制御と可視性は、炉の運転を合理化し、高品質の半導体デバイスを実現するための性能を最大化するのに役立ちます。全体として、DD-835V垂直拡散炉は、高度な熱処理能力を求める半導体メーカーの最先端のソリューションです。KOKUSAI DD-835Vは、革新的な設計、優れた加熱装置、精密ガス制御、ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、幅広い半導体アプリケーションにおいて比類のない性能、信頼性、汎用性を提供します。これは、垂直拡散炉の技術の大幅な進歩を表し、半導体の製造における精密かつ均一な熱処理の結果を達成するための理想的な選択肢です。
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