中古 KOKUSAI DD-823V #9286970 を販売中
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販売された
ID: 9286970
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1994
System, 8"
Gas supply:
PCW Supply
Boat system
Load lock
(26) Carrier slots
System control:
Main controller: 0 x 3000
Touch screen
Front and rear gas flow
Temperature: CQ1600
Pressure: PCU 3000
Power supply: 1Φ 208V / 15A
Heater power: 3Φ 208V / 250A
Pump unit
Process gases:
Gas 1:
FC-986Y-BF N2 10 SLM
FC-986Y-BF N2 10 SLM
FC-985Y-BF N2 2 SLM
Gas 2:
FC-985CY-BF NO 1 SLM
Gas 3:
FC-986CY-BF N2O 20 SLM
Gas 4:
TC-FC986CY-BF O2 10 SLM
TC-FC985CY-BF O2 1 SLM
Gas 5:
FC-985CY-BF H2 500 Sccm
FC-985CY-BF H2 200 Sccm
FC-985CY-BF H2 500 Sccm
FC-985CY-BF H2 500 Sccm
FC-985CY-BF H2 200 Sccm
Gas 6:
FC-985CY-BF HCl 500 Sccm
Gas distrubution:
FUJIKIN Standard
SUS-316L Tubing material
VCR Tubing finish
FUJIKIN Manual
FUJIKIN Air operated valve
VERIFLD Regulator
AERA MFC
Exhaust distribution:
Baratron gauge
Main valve
Pump line
(24) Cassettes
(2) Input / output ports
(5) Wafer transfers
Ceramic fork material
(5) Forks
Fork variable pitch
Elevator:
Boat elevator
Auto shutter
Boat rotation
Mechanical part
Heating chamber:
TC R Type: (5) Zones
(5) Spikes T/C
(5) Overtemp protectsT/C
Door interlock
Exhaust:
Heater
Gas box
Process
Missing parts:
CKD
Therno VAC TM 22
1994 vintage.
KOKUSAI DD-823Vは、半導体業界の幅広い用途に適した拡散炉およびアクセサリーです。炉は、1300℃までの温度に到達し、維持することができるチャンバーを持っています。これにより、加工用ガスや各種材料の拡散などが可能となります。炉はまた、チャンバー内で実行されるアプリケーションに適した雰囲気を効果的かつ効率的に維持するように設計されています。DD-823Vは複数の制御システムが装備されています。それに部屋の中の温度、ガスの流れおよび他のプロセスを制御するためのマクロプログラマーがあります。また、高精度かつ再現性の高い温度プロファイルを維持するための精密温度コントローラも装備されています。これらのコントローラーはまた適用条件によって炉の中の温度の上昇そして落下の率を制御するために調節可能な変数を提供します。炉のパワーセクションは、高度な力率補正技術を使用しており、チャンバに供給される電力を正確に制御し、処理精度をさらに向上させます。また、温度制御やプロセス制御機能に加え、各種安全部品をDD-823Vしています。これらには、過熱および酸化アラーム、ならびにチャンバー内のガス残留を防ぐ排気ファンが含まれます。炉には、緊急時にすべてのチャンバーの電源を遮断する非常停止ボタン付きの安全扉も備えています。これらの部品はすべて、幅広い用途で使用するために炉が安全で信頼性が高いことを保証します。DD-823Vはまた使用し、維持することを容易にさせる付属品の完全なセットが付属しています。これらには、室内の大気を監視するための温度指標、湿度計、圧力計が含まれます。このユニットには、さまざまなバルブ制御システムと石英チューブが含まれており、ユーザーは拡散プロセスをプレビューすることができます。最後に、炉を外部システムに接続するために、幅広いアダプタやその他のアクセサリが利用可能です。KOKUSAI DD-823Vは、半導体業界の様々な加工用途に適した信頼性、安全性、効率性の高い拡散炉です。1300℃までの温度に到達し、維持する能力は、その多数の安全機能と付属品と組み合わせて、それは多くの処理要件のための理想的な選択肢になります。
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