中古 KOKUSAI DD-823V #9026261 を販売中

KOKUSAI DD-823Vは、Litho、 PECVD、 RTPアプリケーション向けに最先端の精度と性能を提供する最先端の拡散炉です。DD-823Vは、高速で多波長の複数の光学センサシステムで設計されており、ウェーハ処理を高速化するために、正確で反復可能な非接触ウェーハ温度測定が可能です。また、ガスの高精度制御を達成するために可変圧力で高度なフロー制御技術を持っています。KOKUSAI DD-823Vは、プロセスの高度な熱管理を統合し、温度ランピング、バックグラウンド圧力メンテナンス、および様々な深真空オプションなどのベンチマーク機能を備えています。炉システムは正確で、反復可能な性能の温度調整、ガスの流れおよび時間周期を管理します。DD-823V拡散炉は、半導体の生産のための蒸着および酸化操作の両方が可能です。拡散炉には、優れた性能を提供するための多くの重要な機能が含まれています。これらの機能は、様々なガス源の迅速かつ簡単に接続するための外部ガスボックス、デュアルセラミック発熱体、抵抗発熱体、石英チャンバー、ヘビーデューティメタルボディ、および洗練されたコントローラが含まれています。それは優秀な温度の均等性、優秀な反復性および顕著な温度調整を提供します。KOKUSAIのDD-823V拡散炉はまた付加的な付属品および選択の広い範囲を提供します。これには、さまざまな言語オプションを備えたタッチスクリーンパネルスタイルのコントローラ、リアルタイムモニタープログラム、真空漏れチェッカー、および安全電源遮断システムや緊急停止スイッチなどのさまざまな安全システムが含まれます。また、調節可能な様々な鐘とバーナーが付属しており、炉の経験を完全にカスタマイズすることができます。ヘビーデューティ構造、先進的な機能、および幅広いアクセサリーにより、DD-823V拡散炉は、産業、研究室、製造設定に最適です。高精度のウェーハ加工能力、正確な温度均一性、またはガス流量と時間サイクルの制御が必要な場合でも、国際DD-823Vはそれをすべて実現することができます。