中古 KOKUSAI DD-823V-8PL #9236896 を販売中

KOKUSAI DD-823V-8PL
製造業者
KOKUSAI
モデル
DD-823V-8PL
ID: 9236896
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
Furnace, 8" SMIF Process: H2 Anneal 1997 vintage.
KOKUSAI DD-823V-8PLは、半導体製造用途に最適な高度拡散炉とアクセサリーセットです。この装置は、優れた温度均一性を提供するオーブンチャンバーと、優れたサーマルサイクリングを提供するマルチセグメントヒーターを備えています。主要な部屋は1600℃まで高温酸化および窒化の機能の各地帯のための精密によってプログラムされるゾーニングの熱電対そして独立したヒーターが装備されています。ガスチャンバーは、基板の両側から均一なガスの流れを提供し、高温ドーピングと化学反応のためのガス混合物の広い範囲を提供します。完全な炉パッケージに含まれているリモートコントロールパネル、圧力制御ユニット、リアルタイムモニタリングシステム、高度な安全機能があります。コントロールパネルは温度、圧力、ガスの流れ、および他の設定を遠くから容易に調節することを可能にします。圧力制御ユニットは、排気を遮断し、空気の流れを正確に制御することにより、オーブンチャンバー内の正確で安定した圧力を提供します。リアルタイムの監視と安全機能により、炉はピーク性能とピーク安全性で動作します。DD-823V-8PLはまた、多くの強力な機能と機能が付属しています。自動プロセスシーケンス機能により、オペレータは複数のプロセスを順番に実行できます。炉はまた、ドアの正確なタイムドオープンを可能にし、ドアへの損傷や汚染の可能性を回避し、タイムドアのオープンの能力を持っています。スプリットビューオプションは、オペレータにチャンバの内部を表示しながら外で作業する機能を提供し、操作中にチャンバに足を踏み入れる必要がなくなります。KOKUSAI DD-823V-8PLは、優れた温度均一性、高度な安全機能、および強力な機能を備えた、高度で信頼性の高い拡散炉です。このデバイスは、オールインワン炉とアクセサリパッケージを求める半導体製造業界の人々にとって理想的な選択肢です。
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