中古 KOKUSAI DD-813V #293622162 を販売中

製造業者
KOKUSAI
モデル
DD-813V
ID: 293622162
ヴィンテージ: 1994
Furnace 1994 vintage.
KOKUSAI DD-813Vは、シリコンウエハのドーピング、アニール、活性化のために設計された特殊プロセス装置である拡散炉です。DD-813Vは最新の革新的な技術を備えており、石英やシリコンウエハの熱処理に優れた品質と性能を提供します。それは任意グラファイトの部屋との石英または1350°Cまでの1000°Cまで加熱できます。また、KOKUSAI DD-813Vは、2つの650mmx4インチウェーハと8インチウェーハ1本に便利に収納できます。そのデジタルコントロールパネルとタッチスクリーン制御システムは、温度を調整し、時間を監視し、さまざまなプログラムにアクセスすることを容易にします。機械は高性能のヘリウムか窒素のガスの流れが装備されています、目標の上でガスを均等に広げるために高速ガス拡散を利用します。これにより、高純度ガラスエッチングプロセスの均一性と一貫性が保証されます。DD-813Vの内部には、温度設定と温度の均一性に役立つマルチレベルの表面ヒーターが装備されています。これは、サンプルに均等に熱を広げる4つの熱分解ホウ素窒化物(PBN)絶縁シリンダと組み合わされます。また、処理精度を確保しつつ、高温設定にも役立ちます。KOKUSAI DD-813Vにはクールボックスガスヒーター保護システムが搭載されています。これは、サンプル損傷を引き起こす可能性のある熱の蓄積を防ぐように設計されています。DD-813Vはまた、ウェーハ上の薄い酸化物の層を監視するのに役立ちます高性能の酸化センサーを備えています。KOKUSAI DD-813Vは便利で多機能な拡散炉で、優れた精度と精度を提供します。クォーツやシリコンウエハの熱処理を安全かつ迅速かつ経済的に行うために設計されており、半導体製造に最適です。DD-813Vため、半導体材料の熱処理に最適です。
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