中古 KOKUSAI DD-813V #293622158 を販売中

KOKUSAI DD-813Vは、半導体リソグラフィ用途で一般的に使用される拡散炉およびアクセサリ機器です。それは自動温度調整を特色にし、利用できるいろいろな版のサイズおよび暖房率の分散型の版指向の設計を提供します。このシステムは、0〜1050°Cの温度範囲で、高温使用のために構築されており、20分未満で動作温度に達することができます。パワーレベルは0〜150kWまで調整可能で、ウェハやその他の関連材料のハード、ミディアム、ソフトアニーリングが可能です。DD-813Vの分散型設計はモジュール式で、ユニットのすべての部分に簡単にアクセスでき、複数の冷却タンクとは対照的に共通の冷却機を使用できます。各プレートセクションには、標準の10mmグラファイトプレートと0。6〜1mmの石英プレートスタンド、およびオプションのアドオンとして2mmおよび3mm石英スペーサープレートが用意されています。このマシンは、効率的な操作と最小限のダウンタイムのために設計されており、すべての機械部品、電子部品、および光学部品が最適な性能に最適化されています。工具全体をコンパクトな専用マシンエンクロージャに収納し、稼働時間を最大化し最適な作業環境を維持するように設計されています。電子制御資産と流体非接触冷却発電機は、使用とメンテナンスの容易さを確保するために遠隔操作されています。すべての機器は、ウェット処理と乾燥処理の両方の機能のために設計されており、幅広いプロセスレシピとコントロールを使用できます。また、ガスマニホールドが内蔵されており、外部ガス供給が可能です。KOKUSAI DD-813Vモデルはオートレゲン（AR）技術を採用しており、稼働中に石英プレートを自動的に再生・パージすることでメンテナンスコストを削減します。水平および垂直位置センサーにより、プレート領域全体に均一な露出が保証されますが、内蔵の安全機能により保護層が追加されます。装置はまた爆発性の大気のために評価され、Rohsの標準に合うようにテストされます。全体として、DD-813V拡散炉とアクセサリーシステムは汎用性と高品質の機械であり、ユーザーは幅広い材料を効果的かつ効率的に処理することができます。その硬化石英板、軍用グレード部品、および使いやすいインタフェースは、柔軟性、生産出力の最大化、および産業用および商業用の半導体製造およびリソグラフィ用途の範囲をサポートします。