中古 KOKUSAI DD-813V #293622155 を販売中

KOKUSAI DD-813Vは、日本の大手メーカーの拡散炉とアクセサリーのトップモデルです。半導体材料の研究開発用に設計されており、酸化、窒化、シリコンドーピングなど幅広い拡散動作に使用されています。それは縦の構造および3つの独立した地帯が付いている水晶管の炉を特色にします、各地帯は独立して制御しました。炉は例外的な均質性および正確さの1000°Cまで温度に達することができます。DD-813Vは高度なオートメーション機能を備えており、高いプロセス再現性と長期的な安定性を実現しています。それはシステムの速く、精密な操作を可能にする色のタッチパネルのコントローラーが装備されています。制御ユニットは、プロセス条件をリアルタイムで監視し、最大10種類のレシピの拡散プロセスパラメータを保存できます。KOKUSAI DD-813V炉は、精密な温度制御と高速加熱/冷却機能を備えています。これにより、炉の長さにわたって正確な温度の均一性が保証され、繊細な半導体材料に対するストレスが軽減されます。また、効率的なガス流量制御を備えているため、拡散ゾーン全体の均質性が向上し、異なる拡散レシピのガス流量を正確に制御できます。さらに、この炉はセラミック絶縁および強制空冷システムにより、粒子やその他の不純物を低減するように設計されています。DD-813Vは、高速かつ正確な拡散操作のために設計された非常に信頼性の高い堅牢なツールです。コンパクトな設計でメンテナンスを最小限に抑え、貴重な処理時間を節約します。KOKUSAI DD-813Vは、精密拡散プロセスを実行するための理想的なソリューションであり、ユーザーは最高品質を達成することができます。