中古 KOKUSAI DD-803V #9075132 を販売中

KOKUSAI DD-803Vは、幅広い半導体材料を迅速に処理するために設計された先進的な拡散炉およびアクセサリーです。これは、高度でユーザーフレンドリーな機能を備えた完全に自動化された機器で、生産および分析機能を強化します。このシステムは、材料の蒸着速度と品質を正確に制御するためのデジタルキャリブレーションユニットを備えた自動ガスフロー制御パネルを備えています。これは、拡散プロセスチャンバー、圧力、ガス流量の温度を正確に制御することによって促進されます。信頼できる急速な加熱機により、チャンバー全体で1100°Cまでの均一な処理温度を実現します。また、KOKUSAI DD-803-Vには、密度の均一性と地形を向上させるための真空脆化源が統合されています。これにより、基板表面全体に均一な拡散プロファイルが確保されます。拡散ツールはまた、プロセス制御時の均一な厚さ精度と正確な温度測定のための自動ゼロ調整を備えています。DD-803Vは、サポートソフトウェアを通じて顧客定義のレシピ制御を有効にすることにより、高精度です。この高度なソフトウェアは、ユーザーフレンドリーな操作を提供し、完全なデータロギングと分析を可能にします。さらに、統合されたプロセス制御により、さまざまな資産パラメータのリアルタイムのパフォーマンス監視が可能になります。DD-803-Vには安全機能とマイクロプロセッサベースのシステムが含まれ、安全な動作を保証します。これには、PID制御の加熱モデル、故障および警報装置、および前処理の検出が含まれます。最後に、最大のパフォーマンスと安全性を確保するために、このシステムは国際規格に準拠しており、数多くのトップオブライン機能を備えています。これは、最も要求の厳しい半導体生産環境のニーズを満たすように設計された信頼性の高い拡散炉ユニットです。