中古 KOKUSAI DD-803V-H #9248596 を販売中

KOKUSAI DD-803V-H
製造業者
KOKUSAI
モデル
DD-803V-H
ID: 9248596
ウェーハサイズ: 8"
Vertical diffusion furnaces, 8" Process: WET-OX.
KOKUSAI DD-803V-Hは、半導体、MEMSなど薄膜製造分野をはじめとする様々な関連市場において、ウェーハ加工の先進的な機能を提供するために設計された拡散炉およびアクセサリーです。特に半導体製造プロセス向けに設計されており、最新の低圧技術により、シャープなラインや回路の生産をサポートし、最適な性能を発揮します。この拡散炉は堅牢なステンレス鋼材料から作られており、3つの電気ヒーターからなるトリプルヒーターアセンブリで、総電力評価は220v、 15A、 60Hzの単相ソースから生成される36kWです。発熱体は8°Cから800°Cの温度較差のPIDの温度調節器によって制御されます。また、8つの6インチウェーハと4つの8インチウェーハを収容できる広い作業スペースを備えており、合計サイズは350x350x550 mmです。DD-803V-Hは、高品質の結果と最大の動作性能を確保するための機能を備えています。排気装置は、フッ化水素酸、ホウ素、塩素、窒素、アセチレンガスなどの有毒で爆発的で有害な蒸気を除去できるノズルで開発されています。また、吸気フィルターでガス汚染を抑制します。これにより、ウェーハの化学的損傷を避けながら均一な拡散を行うことができます。KOKUSAI DD-803V-Hには温度均一性モニターも装備しています。これは特に温度の均一性を保障するために内部炉の温度を測定し、制御し、そして調節するために、従ってプロセスの良質設計されています。さらに、7X10-2 Torrの最大真空度を達成することができる統合真空システムを備えています。DD-803V-Hは過熱保護機械との過熱を防ぐことができる温度の安全制御装置を含む高い安全対策と、設計されています。また、装置の動作中の安全性を保証する緊急停止ボタンを搭載しています。KOKUSAI DD-803V-Hは、半導体および薄膜製造プロセスにおいて高いレベルの製品革新と信頼性を提供します。これは、長期的に大幅なコスト削減を提供する包括的で効率的なソリューションであるため、プロジェクトが時間通りに完了し、高品質な結果を得ることができます。
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