中古 KOKUSAI DD-802V #9068939 を販売中

KOKUSAI DD-802V
製造業者
KOKUSAI
モデル
DD-802V
ID: 9068939
ウェーハサイズ: 6"
Diffusion furnaces, 6".
KOKUSAI DD-802V拡散炉は、不純物を基板に拡散させ、複合材料、電気抵抗、および/または光学機能を変更するために使用される高度に専門化された熱処理装置です。DD-802Vは、迅速、正確、再現可能な拡散処理を必要とする生産ラインに最適です。このシステムは、抵抗加熱真空チャンバー、内蔵ガスユニット、ターボ分子真空ポンプセット、およびコンピュータ制御のユーザーインターフェイスで構成されています。KOKUSAI DD-802V用の真空チャンバーはステンレス製で、処理中の含有媒体の汚染を防ぐためにガスタイトです。高精度の温度調節器を搭載し、高精度な温度制御と急速な温度ランプを実現し、品質の向上と短いサイクル時間を実現します。チャンバーの最高温度は2000°Cで、高精度の抵抗加熱技術を使用して2°Cを±するように正確に制御することができます。統合されたガスマシンは、窒素タンク、マスフローコントローラ、および高精度バルブで構成されています。ガスツールは、精密なガス流量制御を可能にし、不純物の追加の前分散を必要とせずに、正確で再現性のあるプロセス結果を得ることができます。DD-802Vにはターボ分子真空ポンプセットがあり、真空レベルが1x10^-2 Paと低いだけでなく、真空チャンバーから粒子や他の空気中の汚染物質を排除するコールドトラップ資産も備えています。これにより、モデルが最適なレベルで動作し、異物が拡散チャンバーに侵入して結果を汚染できないことが保証されます。KOKUSAI DD-802Vは、PCまたはPLC制御のユーザーインターフェースを使用して、設定、操作、監視を行います。すべてのパラメータは、ユーザーが定義し、PCまたはPLCに保存されているため、再現性が向上し、さまざまなプロセスの無制限の数のレシピにアクセスできます。装置にまた緊急停止ボタン、および過熱のための警報ブザー、また緊急事態の間にすぐに部屋を冷却できる緊急の冷却装置があります。結論として、DD-802V拡散炉は、高精度の温度制御と低、制御可能な真空レベルで正確で再現性のある結果を生成する高度で信頼性の高い手段です。ユーザーフレンドリーなコンピュータとPLC制御のユーザーインターフェイスにより、操作が簡単になり、ガスユニットと緊急時の安全機能により、結果が一貫した信頼性が維持されます。
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