中古 KOKUSAI DD-802 #9181772 を販売中

KOKUSAI DD-802
製造業者
KOKUSAI
モデル
DD-802
ID: 9181772
ウェーハサイズ: 6"
Furnace, 6".
KOKUSAI DD-802拡散炉は、金属などの高品質な拡散処理を行うための汎用性と信頼性の高い装置です。本体と付属のワーキングコンパートメントを備えた2バレル設計で、幅広いプロセスに対応しています。この炉は、基板の均一な拡散のための精密な温度制御を可能にする統合されたプロセス制御システムを備えています。温度範囲は最大1400°Cで、最大入口ガス流量は毎分400立方センチメートルです。DD-802には、各アプリケーションの特定の要件を満たすように構成できる拡散アクセサリのフルスイートが含まれています。これにはスパッタ成膜ツールが含まれており、ターゲット材料を基板に制御することができます。ODS (Oxidation Deposition Unit)は一様な酸化物の成長を提供し、揮発性物質にとって理想的です。Advanced Gas Deposition Machine (AGDS)は、様々な基板にガス相の堆積層を追加します。MPDS (Multi-Particle Deposition Tool)はAGDSと協力して、均一で高度に制御された薄膜前駆体のための複数の層の組み合わせを堆積させます。KOKUSAI DD-802は、基板を保護し、電気事故を防止する統合電気資産を持っています。これは、高水準の遮蔽放射線防護を提供し、安全な運転環境を確保する炉を通じてさらに有効になります。DD-802は、すべてのコンポーネントとプロセスに対して堅牢なセキュリティを提供するマルチレベルのセキュリティモデルを備えています。これは、ユーザーがすべてのプロセスと結果を追跡することができる互換性のあるソフトウェアを持っています、また、プロセスの進歩を監視するリアルタイム温度プロファイルのビューアを持っています。最後に、KOKUSAI DD-802は、さまざまな環境で動作しながら、最大限の利便性を提供するように設計されています。人間工学に基づいた設計で、長時間のスタンディングによる疲労を最小限に抑え、また、クールダウンを迅速に行うための冷却装置を内蔵しています。これにより、あらゆる作業環境で一貫した効率的なパフォーマンスが保証されます。
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