中古 KOKUSAI DD-100P #193187 を販売中

KOKUSAI DD-100Pは半導体産業の精密ドーピングおよびアニールのために使用される拡散炉です。効率的な運用のために設計されており、制御性の高い均一な環境を提供し、再現性と信頼性の高いパフォーマンスを実現します。この炉は密閉された石英管の設計を特徴とし、高い熱効率と均一な加熱を可能にしながら、チューブを窒素またはアルゴンでパージすることができます。単位は最高ランプ率150°C/minの900°Cまで温度で作動するために評価されます。コイルへの応用力はPIDコントローラーによって調整され、温度およびプロセスに対する高度な制御を提供します。DD-100Pは、プロセスの制御を可能にする幅広い機能を提供しています。それは調節可能なヒートアップおよびクールダウンランプレート、タイマー設定および過熱保護を特色にします。このユニットは、熱電対、サーミスタ、抵抗温度検出器など、さまざまなプロセスセンサーも提供しています。クォーツウェーハボートやサセプターホルダーなど、チャンバーの出し入れを効率的に行うためのアクセサリーや、チューブをパージするためのガスライン、テーラードベーク用の各種プロセスランプ、カスタマイズされたプロセス用のクールタイムなどをDD-100Pしています。また、ワイヤレスリモートモニターと制御機能を搭載しており、ノートパソコンなどからのオフサイト操作が可能です。DD-100Pは、信頼性の高い効率的な拡散炉を提供し、さまざまな温度および環境条件にわたって高いレベルの再現性で一貫して実行できるように構築されています。そのさまざまな機能とアクセサリは、プロセスを完全に制御し、信頼性の高い結果とさまざまなアプリケーションへの適応性を保証します。