中古 KOKUSAI CX3000 #9291201 を販売中

KOKUSAI CX3000
製造業者
KOKUSAI
モデル
CX3000
ID: 9291201
ウェーハサイズ: 12"
Furnaces, 12" P/N:DJ-1206V -DF Process: SI3N4.
KOKUSAI CX3000は、加熱やアニールを伴う産業プロセスの効率的な運用を容易にする最先端の拡散炉とアクセサリースイートです。KOKUSAI CX-3000は、エネルギー消費量と運用コストを削減する小型多機能設計など、業界をリードするさまざまな技術とコンポーネントを備えています。CX3000油井は堅牢なSUS431ステンレス鋼で構成されており、高精度の拡散のために最大7ゾーン制御で構成することができます。CX-3000はまた、より大きな基板処理を可能にするために、広い開口部を備えた真空ドアを備えています。ドアは手動で作動するか、または速く、容易なアクセスを提供するために電動化することができます。また、KOKUSAI CX3000には、より大型で重い基板を積載するための自動缶ローディングシステムがオプションで搭載されています。KOKUSAI CX-3000は、正確かつ効率的なガス流量制御のための自動マスフローコントローラを備えています。コントローラーは改善されたマスフロー制御のためのガスの流れのレベルを調節するようにプログラムすることができ、より円滑な操作のための警告および維持警報を含んでいます。これは、Ni-Cr-Al合金で構成されており、より広範な操作のために最大5つの異なるガス供給をサポートすることができます。また、特殊な高出力密度シリコンカーバイド(SiC)発熱体もCX3000しています。この新しい発熱体は、従来のMgoコアの代わりに高効率で低エネルギーの炭化ケイ素を使用するため、従来の発熱体と比較して温度の均一性と完全な信頼性を向上させます。堅牢なSiC発熱体は、優れた断熱性と電気絶縁性、優れた熱伝導性、および必要な用途に応じて調整可能な調整可能な電力定格も提供します。温度とアニーリングプロセスを確保するために、CX-3000はまた、チャンバー全体に均一な温度分布のためのファンを含みます。効率的なファンは、循環を改善するためのモーター制御、3方向の通気システムを利用し、安全な動作を確保するための保護設定を備えています。また、KOKUSAI CX3000には、チャンバーの温度と設定をリアルタイムで読み取るための電源と温度モニターが搭載されています。全体として、国際CX-3000拡散炉とアクセサリースイートは、効率的な工業加熱とアニーリングプロセスのための高性能システムを提供します。コンパクトなサイズから、多機能設計、効率的な低エネルギー部品まで、CX3000は加熱とアニーリングを含む産業作業のための強力で信頼性の高いソリューションです。
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