中古 KOKUSAI CX-5000 #293762987 を販売中

KOKUSAI CX-5000
製造業者
KOKUSAI
モデル
CX-5000
ID: 293762987
ウェーハサイズ: 12"
Diffusion furnace, 12" Part number: DJ-1206VN -DF Process: SI3N4 Main controller: KDSC Power supply: 120 V, 1 Phase / 480 V, 3 Phase.
KOKUSAI CX-5000は、半導体業界の高温高圧プロセス用途向けに設計された最先端の拡散炉です。最先端の技術と革新的な設計を備えたこの高度なシステムは、精度と一貫性を備えた高品質のウェーハを製造するための汎用性と信頼性の高いツールです。主な特徴と利点:1。高度な加熱ユニット:CX-5000には、ウェーハ表面の温度均一性を正確に制御できる高性能の加熱機が装備されています。これにより、ウェーハの効率的かつ一貫した処理が保証され、高品質のデバイス性能が得られます。2.精密ガス流量制御:このツールは、ガス流量と混合物の精密な操作を可能にする洗練されたガス流量制御機構を備えています。これにより、ウェーハ内のドーピング濃度と分布を正確に制御することができ、デバイス性能の最適化につながります。3.高圧機能:高圧での動作が可能な国際CX-5000は、高圧条件を必要とする幅広い拡散プロセスに適しています。この機能により、特定のアプリケーション要件を満たすためにプロセスパラメータをカスタマイズできます。4.ユーザーフレンドリーなインターフェース:このアセットには直感的なユーザーインターフェイスが装備されており、プロセスレシピのプログラミングとプロセスパラメータのリアルタイム監視が簡単に行えます。このユーザーフレンドリーな設計により、生産性が向上し、オペレータのエラーが最小限に抑えられ、一貫した信頼性の高い結果が得られます。5.フレキシブルウェーハハンドリング:CX-5000は、小径から大径まで、さまざまなウェーハサイズに対応するように設計されています。この柔軟性により、複数のウェーハタイプを1回の実行で処理でき、スループットと効率を最大化できます。6.高められた安全特徴:モデルはオペレータの安全を保障し、潜在的な危険から装置を保護する高度の安全特徴が装備されています。これらの機能には、ガス漏れ検出システム、緊急停止メカニズム、不正アクセスを防ぐためのインターロックシステムなどがあります。7.リモートモニタリングと制御:KOKUSAI CX-5000をシームレスにリモートモニタリング機器に統合することで、集中した場所からプロセスをリアルタイムで監視・制御することができます。この機能により、リモートでのトラブルシューティングとメンテナンスが可能になり、ダウンタイムが短縮され、システム全体の効率が向上します。8.エネルギー効率のよい設計:CX-5000はエネルギー消費を最小にするために高度の絶縁材および発熱体を利用して、エネルギー効率を念頭に置いて設計されています。これにより、運用コストを削減するだけでなく、より持続可能な製造プロセスに貢献します。コア拡散炉ユニットに加えて、各種アクセサリーやアップグレードCX-5000装備し、機能性と柔軟性を高めています。これらのアクセサリには、ウェーハローディングとアンロードシステム、プロセスガス配送システム、温度プロファイリングツール、データロギングソフトウェアなどがあります。全体として、CX-5000拡散炉は半導体産業における高温高圧拡散プロセスの最先端ソリューションです。KOKUSAI CX-5000は、高度な機能、ユーザーフレンドリーなインターフェース、カスタマイズ可能なオプションを備え、幅広い半導体アプリケーション向けに精密なドーピングプロファイルを備えた高品質のウェーハを製造するための信頼性と効率的なツールです。
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