中古 KOKUSAI CX-5000 #293762978 を販売中

KOKUSAI CX-5000
製造業者
KOKUSAI
モデル
CX-5000
ID: 293762978
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2008
Diffusion furnace, 12" Part number: DJ-1206VN -DF Process: SI3N4 Main controller: KDSC Power supply: 120 V, 1 Phase / 480 V, 3 Phase 2008 vintage.
KOKUSAI CX-5000は、各種基板の精密熱制御に使用される拡散炉およびアクセサリ装置です。CX-5000は、高精度ヒーター、ガス噴射源、冷却ファンを駆動することで、基板内の要素の拡散を促す最適な熱環境を一貫して作り出します。KOKUSAI CX-5000は、リードブロックとセラミック繊維加熱ホットゾーンを使用して構築されています。CX-5000のアップグレードされたデュアルエンド暖房システムは、± 5°Cの温度均一性を維持しながら、最大1300°Cの温度を達成することができます。KOKUSAI CX-5000は、400mmまでの大型基板、25mmまでの小型基板に対応できるよう設計されています。CX-5000は、最高の製品歩留まりのために冷却速度を正確に制御するための自動メカニズム冷却ユニットを提供しています。ガスインジェクション拡散用途には、先進のTotalFlow II自動ガスインジェクション機を搭載したKOKUSAI CX-5000。TotalFlow IIを使用すると、ユーザーはマシンのフロントパネルからガス濃度を調整できます。さらに、TotalFlow IIツールを使用すると、0.001Slmから0.0005Slmまでのフローレートを正確に制御できます。CX-5000はまた、高度にインテリジェントなマルチチャネルPID温度制御アセットを提供し、ホットゾーン全体で最適かつ均一な熱分布を保証します。KOKUSAI CX-5000は「、ガスリークセンサー」「、安全警報」「、過熱警報」などの総合的なセンサーと機能を備え、安全性を念頭に置いて設計されています。さらに、機能豊富なプログラマブルなユーザーインフォメーションセキュリティ機器のおかげで、ユーザーはCX-5000の安全かつ安全な使用を保証することができます。KOKUSAI CX-5000は、要求の厳しいサンプルや最先端の研究開発アプリケーションに最適です。卓越した精度と性能により、CX-5000は生産において卓越した信頼性を提供し、すべての拡散アプリケーションに最適です。
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