中古 KOKUSAI CX-5000 #293762977 を販売中

KOKUSAI CX-5000 Diffusion Furnaceは、高性能半導体製造における幅広い拡散プロセスの精密な制御と自動化を可能にする高度な精密機器です。それはフルオートの粉の詰物および統合されたCVDの部屋を特色にします。このシングルチャンバー炉は、より正確な温度制御と均質な処理を提供するために構築されています。CX-5000は、粉末の安全な除去のための調整可能な高温ゾーンと高度な強制空冷セットアップを備えています。加工に最適化された温度範囲は約815°C〜1150°Cで、正確な基板温度を得るために調整することができます。KOKUSAI CX-5000は、特殊な加工要件に対応するために、さまざまな制御と設定で設計されています。外部コンピュータからコマンドを受信CX-5000と、オートメーション対応のマルチステッププログラム（MSモード）が付属します。KOKUSAI CX-5000には、正確な水晶熱センサーとPID制御による自動自己補正機能が搭載されており、安定した正確な温度制御が可能です。この炉はマルチゾーン機能を備えており、大型基板でも正確な均一性を提供します。CX-5000はまた、信頼性の高い安全なプロセスと結果を保証する活性ガス圧力制御システムを備えています。さまざまな炉の温度制御はイーサネット接続によって遠隔に点検することができ、ソフトウェアサポートおよび統合サービスを提供します。KOKUSAI CX-5000は、高性能のろ過システムと高度なアラームとインターロック機能を搭載しています。CX-5000拡散炉は高度で信頼性の高いシステムで、精密で均一な拡散処理を提供します。その高温およびオートメーション機能は、さまざまな高性能の半導体製造および加工アプリケーションに最適です。