中古 KOKUSAI CX-5000 #293762975 を販売中
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ID: 293762975
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2011
Diffusion furnace, 12"
Part number: DJ-1206VN -DF
Process: TiN
Main controller: KDSC
Power supply: 120 V, 1 Phase / 480 V, 3 Phase
2011 vintage.
KOKUSAI CX-5000は高効率加工が可能な高性能拡散炉です。この炉には、基板化学の精密かつ複雑な操作を可能にするアクセサリーが付属しています。CX-5000は、最大限の効率と使用率を確保するためのさまざまな機能を提供しています。これらには、1400°Cの高温能力、17.5KWの熱容量、および高速アニーリングのための急速な加熱特性が含まれます。広い温度範囲で正確な温度制御が可能であり、高い熱容量はより高いプロセス出力を提供します。内蔵の省エネ機能には、機械がアイドル状態のときに最小限のエネルギー使用を可能にするスタンバイモードが含まれています。高度なランプ制御やプロセス設定の微調整のためのデジタル処理パラメータ、マルチファシリティディスプレイなどのその他の容量オプションにより、最も洗練された生産プロセスが保証されます。この炉は、複数のコンパートメントを備えたデュアルチャンバー構造を備えています。それは優秀な耐食性、剛性率および耐久性を特色にする304ステンレス鋼から組み立てられます。炉の下部のチャンバーは均一なプラズマを集中させ、上部の高温チャンバーは拡散プロセスが行われる場所です。炉は最適な拡散処理を保証するために付属品のフルレンジが装備されています。これらは専門の保護大気の発電機、熱電対の読者、パージングシステム、サンプルホールダーおよび高温自動送り装置を含んでいます。安全の観点から、国際CX-5000は、環境保護と労働安全のための最新の安全規制を満たしています。これは、複数の保護機能だけでなく、緊急時に迅速な制御シャットダウンのためのLCD緊急停止プッシュボタンを提供しています。統合された保護ゲートはまた、リスクを大幅に低減します。CX-5000は、堅牢な構造、広い温度範囲、省エネ機能、および高度なアクセサリーオプションにより、拡散処理に理想的な炉です。その精密で包括的なツールは、高いレベルの制御を可能にし、最高品質の拡散処理を保証します。
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