中古 KOKUSAI CX-5000 #293762973 を販売中

KOKUSAI CX-5000は、高性能の薄膜成膜とアニーリング機能を目的とした拡散炉およびアクセサリーパッケージです。優れた温度制御と精度、そして使いやすい操作制御を備えた汎用性の高い機器です。このユニットはまた、広範囲のフィルム成膜およびプロセスアプリケーションのための事前プログラムされた温度の大規模な配列を提供しています。CX-5000は高性能の薄膜の沈殿の部屋および高温アニーリングの癒やす部屋で構成されます。フィルム成膜室は、酸化物、窒化物、金属膜を様々な基板上に堆積させるように設計されています。このチャンバーは、10-5torrの超高真空レベルと、エネルギー効率に優れた電気熱水晶ヒーターと抵抗ヒーターシステムを備えています。また、蒸着工程中の反応ガス導入用のガス送り装置も内蔵しています。アニーリングチャンバーは、通常1350℃までの高温プロセス用に設計されています。これは、優れた温度均一性と再現性とともに、急激な温度上昇と落下を可能にする2レートの加熱プロセスを提供します。クエンチマシンには、自動フタ開閉器と、あらかじめプログラムされた冷却時間の配列も備えています。KOKUSAI CX-5000には、ロードロック、プロセスコントローラ、ガスフィードシステムなどのフルセットのアクセサリーもあります。ロードロックは、チャンバ間の素早い基板交換を可能にするように設計されています。これにより、サンプリング時間が短縮され、オペレータはサンプルをすばやく切り替えることができ、プロセス時間を短縮できます。プロセスコントローラは、プロセスの正確な温度と時間制御を提供するように設計されています。これにより、温度上昇率、蒸着時間、アニーリング時間などのプロセス変数を簡単にプログラムおよび監視できます。さらに、CX-5000にはオペレータの安全を確保するためのさまざまな安全機能が含まれています。例えば、安全回路には過熱カットオフスイッチと過電流と過圧のアラームが含まれます。さらに、予期しない暴走プロセスを防ぐために、いくつかの安全インターロックも装備されています。KOKUSAI CX-5000は全体的に信頼性が高く、堅牢な拡散炉とアニーリングチャンバーであり、幅広い成膜およびアニーリングプロセスを柔軟に実行できます。