中古 KOKUSAI CX-5000 #293762578 を販売中

KOKUSAI CX-5000
製造業者
KOKUSAI
モデル
CX-5000
ID: 293762578
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2012
Diffusion furnace, 12" Part number: DJ-1206V -DF Process: SIO2 Main controller: KDSC Power supply: 120 V, 1 Phase / 480 V, 3 Phase 2012 vintage.
KOKUSAI CX-5000拡散炉は、急速熱処理(RTP)などの高温拡散プロセスに使用されるように設計された高温炉です。CX-5000は真空超高温(VUHT)チャンバーを使用して高温プロセスの深さと均一性を拡張し、処理範囲を1,000°から1,650°Cに拡大します。KOKUSAI CX-5000は、垂直荷重を備えた3ポート設計で、非酸化絶縁システムを使用した急速なサーマルランピングを提供します。高純度材料の熱応力を最小限に抑え、高品質な結果を可能にします。CX-5000は高度な機能で設計され、構築されており、ユーザーは需要の高い拡散プロセスに真に強力なソリューションを提供します。高度なチャンバー設計には、温度の均一性を確保するために拡散板が取り付けられており、ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、ユーザーはプロセスを最大限に制御するためのレシピをカスタマイズできます。ガスミキサーを内蔵しており、精密なガス雰囲気制御が可能です。自動冷却機能により、必要に応じて高速かつ効果的な冷却が可能です。さらに、チャンバーのフレキシブルな使用により、高密度製品の同時アニールまたは急速な熱処理および拡散処理を可能にします。その他にも、温度・圧力データのリアルタイム表示、一貫した熱出力を実現するマイクロプロセッサ制御パワーシステム、温度オーバーシュートを防止するクールダウン保護システムなどのCX-5000があります。これらの機能を組み合わせることで、放熱を最小限に抑え、廃棄物を削減し効率を最大限に高めることができ、拡散プロセスに最適な結果を得ることができます。さらに、CX-5000のコンパクトなサイズとモジュラー設計により、既存のシステムと簡単にインストールおよび統合できます。KOKUSAI CX-5000拡散炉は、あらゆる規模の高温拡散プロセスに対する信頼性と経済性の高いソリューションです。高度な機能、柔軟な使用法、コンパクトな設計により、CX-5000は無駄を最小限に抑えて一貫した高品質な結果を達成するための強力なツールです。
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