中古 KOKUSAI CX-5000 #293762574 を販売中

KOKUSAI CX-5000は拡散を含む高度な熱処理のために設計された拡散炉および付属品です。シリコン蒸着やシリコン化エピタキシーなどの用途に最適です。CX-5000は、すべての遷移金属熱壁熱処理機能を備えており、厳しい温度と時間制御で高スループットプロセスを完了することができます。KOKUSAI CX-5000の中心は、垂直石英熱壁炉です。この炉は、電磁的に制御されたIR放射ヒーターを備えており、正確な温度とプロセス制御を可能にします。このプラットフォームは、最大のプロセススループットを目指して設計されており、高速なサーマルサイクルタイムとウェーハ全体で最大1〜2°Cの温度均一性を備えています。CX-5000は柔軟性のために設計され、あらゆるタイプの拡散プロセスまたは層の移動に対応するために容易にカスタマイズすることができます。拡散には5種類のシリコン基板を使用でき、ガスドーピングとCVD用の統合ガスインジェクタユニットも付属しています。このキットには、高効率でユーザーフレンドリーなソフトウェアスイートが含まれています。これにより、研究者は遠隔で機械をプログラムして監視することができ、手動制御と観察の必要性を排除することができます。KOKUSAI CX-5000は、JGRCのEXPERTツール（Experimental Pattern Routing Asset）と完全に互換性があり、実験設計を炉に送信して自動実行することができます。CX-5000は、自動自己診断、EMIおよびRoHS認定コンポーネント、および内蔵のサーマルカットオフなど、高度な熱処理のためのさまざまな安全性と利便性を備えています。KOKUSAI CX-5000は、最先端の拡散炉とアクセサリーで、高度な熱処理に最適な精度と信頼性を備えています。正確な温度と時間制御が必要なユーザーや、プロセスのスループットと柔軟性を最大化したいユーザーに最適です。