中古 KOKUSAI CX-5000 #293762572 を販売中

KOKUSAI CX-5000は、半導体部品の製造に特化した拡散炉およびアクセサリーです。これは、高度に複雑なデバイスの製造に適用するための高効率と精度を提供します。CX-5000は、半導体部品生産に最適な温度プロファイルを提供する垂直拡散炉の設計に基づいています。モジュラー設計により、低温および高温の両方の動作を適用しながら、優れた安全性と制御を提供します。さらに、炉はオートメーションと精度の高いレベルを提供する様々な炉アクセサリーを備えています。この炉には、高温および低温プロセス用のデュアルゾーンコントローラが装備されています。これにより、処理能力の範囲が広がり、処理条件を正確に制御できます。また、温度があらかじめ設定された限界を超えると作動することができる安全遮断機能を備えています。これにより、動作の安全性が確保され、部品の過熱を防止します。KOKUSAI CX-5000は、0。2〜0。6ミクロンの厚さの構造物をサポートするように設計されており、厳密に制御された熱プロファイルを備えた小型デバイスの製造に最適です。この装置には、インプラント工程の正確なタイミングと同期を可能にする統合マルチゾーンクロッキングシステムが装備されています。さらに、プログラム可能な開始温度および終了温度設定により、CX-5000を完全に自動化することができ、多数の基板にわたって一貫した反復可能な結果を得ることができます。このユニットは、最適な温度均一性と圧力レギュレーションとパージ制御のために構成することができる自動ガスフロー機などの高度な機能を備えています。その他の機能には、EthernetおよびRS-232インターフェイスを介したリモート監視および制御へのアクセス、およびPCベースのデータロギングが含まれます。最後に、国際CX-5000は、多様な生産プロセスに必要な柔軟性を提供するように設計されています。CX-5000は、カスタマイズとプロセス最適化のためにプログラムすることができる石英、SiC、 SiNx、ポリシラザンなどの様々な材料を利用しています。KOKUSAI CX-5000は、幅広い制御可能なパラメータをサポートし、カスタマイズのための幅広いオプションをプロセスエンジニアに提供しています。これにより、複雑なデバイスの製造に最適です。