中古 KOKUSAI CX-3000 #293762989 を販売中

KOKUSAI CX-3000
製造業者
KOKUSAI
モデル
CX-3000
ID: 293762989
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
Diffusion furnace, 12" P/N: DD-1223V Process: BIO Main controller: CX3010 / CX3010B Power supply: 208V, 1 Phase / 440 V, 3 Phase 2005 vintage.
KOKUSAI CX3000は、先進的な半導体製造プロセス向けに設計された最先端の拡散炉です。精密制御と高いスループット機能を備えたこのツールは、最先端の半導体デバイスの製造において卓越した性能と信頼性を提供します。主な特徴:1。高温均一性:工程室全体で優れた温度均一性を実現する堅牢な加熱システムをCX-3000しています。これは、半導体加工で一貫した信頼性の高い結果を達成するために不可欠です。2.ガスフロー制御:このツールには、プロセスガスの正確な管理を可能にする高度なガスフロー制御メカニズムが装備されています。これにより、拡散プロセス中の最適な化学反応と均一性が保証されます。3.マルチゾーン加熱:CX3000には、拡散プロセス中に正確な温度プロファイリングを可能にする複数の加熱ゾーンが装備されています。これにより、ユーザーは特定のプロセス要件を満たすために熱プロファイルを調整することができます。4.急速な暖房および冷却:炉は急速な暖房および冷却周期、速いプロセス転移を促進し、全面的な処理時間を減らすことができます。これは、ハイスループットの製造環境に不可欠です。5.プロセスの柔軟性:CX-3000は幅広いプロセス機能を提供し、さまざまな拡散アプリケーションに適しています。ドーパント拡散、酸化、アニール、その他の熱処理のいずれであっても、このツールは多様な製造ニーズを満たすことができます。6.ユーザーフレンドリーなインターフェース:このツールは直感的なユーザーインターフェイスを備えており、拡散プロセスの簡単な操作と監視を可能にします。オペレータは簡単にレシピをプログラミングし、プロセスパラメータを監視し、必要に応じて調整することができます。7.堅牢な構造:KOKUSAI CX3000は、高品質の材料と部品で構築され、耐久性と長期的な信頼性を確保します。このツールは、半導体製造環境の厳しさに耐え、時間の経過とともに一貫したパフォーマンスを提供するように設計されています。アクセサリー:炉自体に加えて、KOKUSAI CX-3000には機能性と使いやすさを高めるさまざまなアクセサリーが付属しています。これらのアクセサリーには以下が含まれます:1。ガス配送システム:拡散プロセス中のプロセスガスの正確な制御を可能にする精密ガス配送システム。2.温度センサ:プロセスチャンバー内の温度プロファイルを監視および制御する高精度の温度センサ。3.ローディングシステム:ウェーハのローディングとアンロードを容易にし、製造プロセスを合理化する機械またはロボットのローディングシステム。4.プロセス監視ツール:プロセスパラメータに関するリアルタイムデータを提供する高度な監視ツールにより、オペレータは情報に基づいた意思決定を行い、プロセスのパフォーマンスを最適化できます。全体として、CX3000拡散炉とアクセサリは、製造プロセスにおいて高性能で信頼性の高い機器を求める半導体メーカーに包括的なソリューションを提供します。高度な機能、プロセスの柔軟性、ユーザーフレンドリーな設計により、CX-3000は精密で効率的な半導体製造事業を実現するための貴重なツールです。
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