中古 KOKUSAI CX-3000 #293762980 を販売中

KOKUSAI CX3000は、半導体製造プロセス向けに設計された高性能拡散炉およびアクセサリ装置です。この先進的な装置には、最先端の技術が組み込まれており、拡散プロセスの正確な制御と均一性を提供し、半導体デバイスの生産において優れた品質と効率をもたらします。KOKUSAI CX-3000は、ウェーハの積み降ろしが容易な水平設計と、炉の処理能力の最大化を特徴としています。このシステムには、ウェーハの全長に沿って均一な熱配分を保証する高温水晶チューブが装備されているため、一貫した信頼性の高い処理結果が得られます。CX3000の重要なポイントの1つは、急速かつ正確な温度制御を実現するために放射および対流加熱素子の組み合わせを利用した高度な加熱ユニットです。これにより、炉は所望の処理温度に迅速かつ正確に到達し、維持することができ、サイクル時間を最小限に抑え、全体的な生産性を向上させます。CX-3000は、優れた加熱能力に加えて、炉の中の周囲の雰囲気を正確に制御できる包括的なガス供給機を備えています。このツールには、マスフローコントローラ、圧力レギュレータ、およびガスラインが含まれており、ドーパントやキャリアガスなどのプロセスガスの正確かつ一貫した配送を保証し、望ましい拡散環境を作り出します。また、熱電対や温度センサを活用した高度な温度監視・制御アセットを採用し、拡散工程を通じて炉の温度を継続的に監視・調整しています。このリアルタイムフィードバックモデルにより、ウェーハに正しい温度プロファイルが適用され、正確で再現性のある拡散結果が得られます。さらに、KOKUSAI CX-3000には、リアルタイムで主要なプロセスパラメータを追跡・分析できる総合的なデータロギング・分析装置が搭載されています。このシステムは、炉の性能に関する貴重な洞察を提供し、ユーザーはプロセス設定を最適化し、全体的な生産性と歩留まりを向上させることができます。装置の安全性と信頼性を確保するために、CX3000には、緊急停止メカニズム、過熱保護、ガス漏れ検出システムなど、さまざまな安全機能が装備されています。これらの機能は、事故を防止し、拡散炉の円滑かつ安全な動作を確保するのに役立ちます。CX-3000は、半導体製造プロセスにおいて卓越した精度、制御、信頼性を提供する最先端の拡散炉ユニットです。高度な技術と包括的な設計により、品質、効率、プロセスの一貫性が最優先される大量生産環境に最適です。