中古 KOKUSAI CQ1710 TC#1 #293597881 を販売中

KOKUSAI CQ1710 TC#1は、半導体基板の製造と研究のために設計された特殊拡散炉とその付属品です。高温炉、トップローディングるつぼ、手動およびパワーゾーンの熱源、ガスの泡、真空および他の機能の範囲と装備されていて、それはドーピング、SiGeの成長および酸化のような高精度の適用に使用することができます。KOKUSAI CQ1710 TC#1拡散炉の最高温度は1700°C （3,092°C）で、1時間あたり80°Cまで上昇します。それは耐久の水晶繊維およびステンレス鋼から成っています、最高の断熱材および低い電力の使用法を可能にします。独自のガスインジェクション装置により、基板レベルで注入されるガスの均一性が保証され、バブラー機能により、不活性ガスを設定流量でシステムに泡立てることができます。KOKUSAI CQ1710 TC#1には、トップローディングの自動化されたるつぼユニットと手動および電力制御の熱源も含まれています。トップローディングるつぼマシンは、基板のローディングと加熱チャンバーへの転送を自動化するように設計されています。手動および電力制御された熱源は、拡散、酸化、堆積、成長などのさまざまなプロセスに、正確かつ正確に制御された温度制御を提供します。また、さまざまな基板に対応し、ガスフローやRFパワーレベルなどのさまざまな動作パラメータを可能にするさまざまなアクセサリと構成を備えています。これらには、パワー調整された排気、基板の観察のためのプロセスモニター、固体および液相組成を監視するためのマルチエレメント検出器、熱測定のための熱電対、手動および自動ガスバブラー、基板キャリアおよびガス供給を処理するための強度制御パネルが含まれます。KOKUSAI CQ1710 TC#1は、研究やデバイス製造に最適な汎用性と信頼性の高い拡散炉です。高度なトップローディングるつぼと手動および電力制御熱源により、さまざまな材料に対応できるさまざまな処理パラメータを提供します。最高の断熱性と消費電力を最小限に抑えるために優れた材料を使用しているため、要求の厳しい半導体アプリケーションで使用するのに理想的な機器です。