中古 KOKUSAI CQ1701 TC#1 #293597878 を販売中

KOKUSAI CQ1701 TC#1拡散炉は、水平に取り付けられたボート構成を利用し、多種多様なプロセス能力を持つ半導体炉として製造されています。TC#1は、1,100°Cまでの温度での低温拡散およびアニーリングプロセスに適しており、最高温度1,200°Cを達成することができます。5Aの電流定格では、600mm石英管加熱室の全長にわたって均一な温度が可能です。また、独立して動作する温度ゾーンセンサーが装備されているため、加熱室全体にわたって正確な温度制御が可能です。CQ1701 TC#1は強力な2.2kWヒーターで設計されており、正確な温度制御のための高度なマイクロプロセッサベースの制御装置を備えています。制御システムには、インラインLEDアラームパネルと、チャンバーの温度値を明確に表示するLED数値読み出しディスプレイが装備されています。強制空気対流ファンと真空ポンプの両方を利用して、炉内環境を効果的に冷却することもできます。TC#1には、ガス制御パネル、フィルター、パイロメーター、フローレギュレータ、さまざまなタイプのガス配管およびチューブなど、さまざまなアクセサリーが装備されています。ガスコントロールパネルは、入口と出口の両方の圧力を正確に制御するための2段階のガス供給ユニットを備えているため、プロセス精度が向上します。フィルターは精製された空気が部屋に入っていることを保障し、温度の均等性のためのSPC/SEMIの標準に会うことができます。さらに、TC#1は手動制御と自動制御の両方が可能で、プロセスの精度と信頼性をさらに向上させます。国際化CQ1701 TC#1拡散炉は、高信頼性・高精度の半導体炉であり、低温拡散・アニーリング工程において優れた性能を発揮します。高度なマイクロプロセッサベースの制御マシン、ハイエンド部品、さまざまなアクセサリにより、CQ1701 TC#1はさまざまな半導体プロセスに最適です。