中古 KOKUSAI / BTI Apogee II+ #293651754 を販売中
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KOKUSAI/BTI Apogee II+は、先進半導体デバイスの製造用に設計された最新鋭の拡散炉およびアクセサリ機器です。ハイエンドの熱制御システムを搭載しており、拡散プロセス中の温度を正確に管理できます。高度な温度制御ユニットにより、1350°Cまでの温度に数分で到達できます。また、広いダイナミックレンジを備えており、幅広い材料の急速な加熱と冷却を可能にします。このツールには、エッチバックやCVDなどのガス配送プロセス用の高効率ガス配送資産も装備されています。このモデルには、拡散プロセスモニターやDecaperf Plusコントローラなどの高度なツールが付属しています。拡散プロセスモニタは、リアルタイム基板温度とガス流量を測定し、拡散プロセスのリアルタイム最適化を可能にします。Decaperf Plusコントローラは、拡散サイクル全体で温度プロファイルを継続的に監視するために使用される自動デバイスです。また、ウェーハホルダーとウェーハチャッキングユニットを内蔵した自動ウェーハトランスファーシステムも搭載しています。このマシンは、さまざまな基板に対応するように設計されており、最大8インチウェーハに対応できます。また、高度なマルチゾーン加熱ツールを備えており、ユーザーはプロセスチャンバーのさまざまな領域の温度を正確に制御することができます。このアセットには、プロセス制御を改善するための真空モデルと、安全性を向上させるための真空保護装置が搭載されています。また、窒素ベースのエッチングプロセスを操作することができる窒素ラインなどの様々なアクセサリーが付属しています。BTI Apogee II+は、半導体デバイスの製造および高度な拡散プロセスに最適なシステムです。優れた温度制御とガス供給機能を提供し、さまざまなプロセスを安全かつ効率的に実行できます。さらに、マルチゾーンヒーティングユニットと高度な真空保護を組み合わせた高度なツーリングと自動化されたウェーハ転送は、露出した基板への損傷のリスクを最小限に抑えながら、すべてのプロセスが正しく行われるようにするのに役立ちます。
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